[發明專利]一種快速調整法布里-珀羅干涉儀的方法及裝置

有效

• 申請號: 201810076304.4
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN108279509B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 任冬梅;蘭一兵;朱振宇;段小艷
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所
• 主分類號: G02B27/30
• 分類號: G02B27/30;G01J3/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種快速調整法布里-珀羅干涉儀的方法，其特征在于：在組成法布里-珀羅腔的平面反射鏡(8)的邊緣加工一部分未鍍反射膜區域；同時引入一塊過渡參考鏡(9)，過渡參考鏡(9)為一環形的平面反射鏡，在調整平凹腔法布里-珀羅干涉儀時，首先調整過渡參考鏡(9)，使過渡參考鏡(9)與凹面反射鏡(10)對準，然后調整平面反射鏡(8)，使平面反射鏡(8)與過渡參考鏡(9)對準，從而實現平面反射鏡(8)與凹面反射鏡(10)的對準。

2.一種快速調整法布里-珀羅干涉儀的裝置，其特征在于：包括：激光器(1)、聚光鏡(2)、光闌(3)、準直鏡(4)、分光鏡(5)、透鏡(6)、觀察屏(7)、平面反射鏡(8)、過渡參考鏡(9)和凹面反射鏡(10)；

平面反射鏡(8)和凹面反射鏡(10)同光軸，組成平凹腔法布里-珀羅干涉儀；凹面反射鏡(10)前放置過渡參考鏡(9)，過渡參考鏡(9)為一環形的平面反射鏡；激光器(1)發出的光束，經過聚光鏡(2)匯聚在光闌(3)處，然后經準直鏡(4)后形成一束擴大的平行光束，該光束透過分光鏡(5)射向法布里-珀羅腔；反射光被分光鏡(5)反射，經過透鏡(6)，射向觀察屏(7)。

3.如權利要求2所述的一種快速調整法布里-珀羅干涉儀的裝置，其特征在于：調整方法具體步驟如下：

步驟1：利用激光器(1)、聚光鏡(2)、光闌(3)和準直鏡(4)組成激光擴束系統；使從激光器(1)發出的光束，經過聚光鏡(2)匯聚在光闌(3)處，然后經準直鏡(4)后形成一束擴大的平行光束，該光束透過分光鏡(5)射向法布里-珀羅腔；

步驟2：安裝凹面反射鏡(10)，用平行激光束垂直照射凹面反射鏡(10)，沿光軸觀察反射光斑，調整激光擴束系統方位，使光軸與凹面反射鏡(10)的軸線相重合；

步驟3：在凹面反射鏡(10)前放置過渡參考鏡(9)，激光束的外圍部分被過渡參考鏡(9)反射，兩束反射光被分光鏡(5)反射，經過透鏡(6)射向觀察屏(7)；前后移動觀察屏(7)觀察兩反射鏡的反射光斑，調整過渡參考鏡(9)方位，使其反射面與光軸方向垂直；

步驟4：安裝平面反射鏡(8)，激光束的中間圓形部分被該反射鏡的鍍反射膜區(11)反射，邊緣環形部分通過該反射鏡的未鍍反射膜區(12)，被過渡參考鏡(9)反射；在觀察屏(7)上觀察反射光斑，調整平面反射鏡(8)，首先使其反射光斑與過渡參考鏡(9)的反射光斑對正，然后，觀察環形區域的干涉條紋，繼續調整平面反射鏡(8)，拉寬干涉條紋，使平面反射鏡(8)與過渡參考鏡(9)的反射面相平行；

步驟5：觀察法布里-珀羅干涉儀的多光束干涉信號，對法布里-珀羅腔進行精確調整；經過步驟1至步驟4，組成法布里-珀羅腔的平面反射鏡(8)和凹面反射鏡(10)的軸線已基本平行，最后，通過觀察干涉信號，進一步對法布里-珀羅腔進行精調，直到獲得平行的干涉信號。