[發明專利]傳感體及其制備方法

在審

• 申請號: 201810074901.3
• 申請日: 2018-01-25
• 公開（公告）號: CN108267263A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 楊松
• 申請（專利權）人: 楊松
• 主分類號: G01L19/06
• 分類號: G01L19/06;G01L1/16
• 代理公司: 深圳市明日今典知識產權代理事務所(普通合伙) 44343
• 代理人: 王杰輝

1.一種傳感體，其特征在于，包括：柔軟材料密封腔體、壓電薄膜；

所述壓電薄膜上設置一個或多個垂直穿透所述壓電薄膜的過孔；所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜緊密粘合，并于所述過孔處設置輔助固定件，以輔助固定所述壓電薄膜。

2.根據權利要求1所述的傳感體，其特征在于，還包括：絕緣避空位；

所述絕緣避空位均勻分布于所述過孔的周圍，所述絕緣避空位為在所述壓電薄膜基材上未涂覆導電層的區域。

3.根據權利要求2所述的傳感體，其特征在于，所述過孔為正圓形，所述絕緣避空位為與所述過孔相同圓心的圓環區域，所述圓環的寬度范圍為：0.5mm至1mm。

4.根據權利要求1所述的傳感體，其特征在于，所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜通過黏膠緊密粘合，所述輔助固定件為黏膠穿越所述過孔凝固而成的粘合體。

5.根據權利要求1所述的傳感體，其特征在于，所述柔軟材料密封腔體由所述柔性材料的成型原料注塑而成，所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜通過所述成型原料緊密粘合，所述輔助固定件為穿越所述過孔的所述成型原料凝固而成的粘合體。

6.根據權利要求1所述的傳感體，其特征在于，所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜通過黏膠緊密粘合，所述輔助固定件為穿越所述過孔的柱狀體，所述柱狀體平行于所述壓電薄膜的端面通過黏膠與所述柔軟材料密封腔體的內壁緊密粘合。

7.根據權利要求1所述的傳感體，其特征在于，還包括：一個或多個第一透氣孔；所述第一透氣孔位于所述輔助固定件上，且以垂直所述壓電薄膜所在平面的方向穿透所述傳感體，所述第一透氣孔的橫截面區域位于所述過孔的橫截面區域內。

8.根據權利要求7所述的傳感體，其特征在于，還包括：一個或多個第二透氣孔；

所述第二透氣孔位于所述傳感體上未部署壓電薄膜區域，且以垂直所述壓電薄膜所在平面的方向穿透所述傳感體。

9.一種傳感體的制備方法，包括權利要求1-8中任一項所述的傳感體，其特征在于，包括：

在壓電薄膜上加工一個或多個垂直穿過所述壓電薄膜的過孔；

用柔性材料緊密包裹帶過孔的壓電薄膜，使所述壓電薄膜處于由所述柔性材料密封的腔體內，且所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜緊密粘合，并在包裹過程中于所述過孔處設置輔助固定件，以輔助固定所述壓電薄膜。

10.根據權利要求9所述的傳感體的制備方法，其特征在于，所述在壓電薄膜上加工一個或多個垂直穿過所述壓電薄膜的過孔的步驟，包括：

在所述基材平面的兩側分別涂覆導電層，并與所述基材平面的單側或雙側設置一個或多個未涂覆導電層的絕緣避空位；

在所述絕緣避空位上加工垂直穿過所述基材平面的過孔。

11.根據權利要求9所述的柔軟材料固定壓電薄膜的方法，其特征在于，所述用柔性材料緊密包裹帶過孔的壓電薄膜，使所述壓電薄膜處于由所述柔性材料密封的腔體內，且所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜緊密粘合，并在包裹過程中于所述過孔處設置輔助固定件，以輔助固定所述壓電薄膜的步驟，包括：

使用指定尺寸的片狀柔性材料包裹住帶過孔的所述壓電薄膜；

粘合所述柔性材料與所述壓電薄膜的接觸面，并在所述過孔處通過黏膠凝固形成輔助固定件；

粘合所述柔性材料首尾銜接處，以形成放置所述壓電薄膜的密封腔體。

12.根據權利要求9所述的柔軟材料固定壓電薄膜的方法，其特征在于，所述用柔性材料緊密包裹帶過孔的壓電薄膜，使所述壓電薄膜處于由所述柔性材料密封的腔體內，且所述柔軟材料密封腔體的內壁與所述壓電薄膜緊密粘合，并在包裹過程中于所述過孔處設置輔助固定件，以輔助固定所述壓電薄膜的步驟，包括：

將所述帶過孔的壓電薄膜放入指定模腔內；

向所述模腔內注入所述柔性材料的成型原料，所述成型原料完全包裹住所述壓電薄膜，并固化所述成型原料，以形成放置所述壓電薄膜的密封腔體，且在過孔處形成所述輔助固定件。