[發明專利]基板導向機構、基板傳送裝置及濕式設備

在審

• 申請號: 201810074472.X
• 申請日: 2018-01-25
• 公開（公告）號: CN108227253A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 熊坤
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

1.一種基板導向機構，其特征在于，包括多組相對設置的調節邊導輪(11)和固定邊導輪(12)，所述調節邊導輪(11)和固定邊導輪(12)設置于傳送中的基板(90)的兩側，用于對基板(90)的傳送方向進行限位糾偏；

其中，所述調節邊導輪(11)包括可移動位置的第一滾輪(111)、帶動所述第一滾輪(111)在基板(90)一側進行移動的可伸縮的彈性件(112)；

所述固定邊導輪(12)包括具有固定位置的與所述第一滾輪(111)對應設置的第二滾輪(121)。

2.如權利要求1所述的基板導向機構，其特征在于，所述第一滾輪(111)在與其相對應的第二滾輪(121)的連線方向上進行移動。

3.如權利要求1所述的基板導向機構，其特征在于，所述調節邊導輪(11)還包括前固定擋板(113)、后固定擋板(114)、第一軸承(115)、及第一底板(116)；所述第一軸承(115)為L型軸承；

其中，所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)在所述第一滾輪(111)一側由近及遠地垂直設置于所述第一底板(116)上，所述彈性件(112)設于所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)之間，所述第一軸承(115)一端穿過所述前固定擋板(113)伸入所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)之間連接所述彈性件(112)，另一端套入所述第一滾輪(111)內。

4.如權利要求3所述的基板導向機構，其特征在于，所述調節邊導輪(11)還包括螺桿(117)，所述后固定擋板(114)上設有與所述螺桿(117)相適配的螺紋通孔，所述螺桿(117)的一端通過所述螺紋通孔旋入所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)之間并連接所述彈性件(112)，從而通過調節螺桿(117)旋入所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)之間的長度進而調節所述彈性件(112)伸縮時的力度。

5.如權利要求3所述的基板導向機構，其特征在于，所述調節邊導輪(11)還包括設于所述前固定擋板(113)和后固定擋板(114)之間的套筒(118)、及設于所述前固定擋板(113)中的套管(120)，所述彈性件(112)在所述套筒(118)內伸縮移動，所述第一軸承(115)在套管(120)內只在一個直線方向伸縮移動；

所述套筒(118)和套管(120)的形狀均為直線型。

6.如權利要求1所述的基板導向機構，其特征在于，所述彈性件(112)為彈簧。

7.如權利要求3所述的基板導向機構，其特征在于，所述第一底板(116)設有多個連接孔(119)，所述調節邊導輪(11)通過所述第一底板(116)進行安裝固定。

8.如權利要求1所述的基板導向機構，其特征在于，所述固定邊導輪(12)還包括第二軸承(125)、及第二底板(126)；所述第二軸承(125)為直型軸承；

其中所述第二滾輪(121)套設于所述第二軸承(125)上，并通過所述第二軸承(125)垂直連接于所述第二底板(126)上。

9.一種基板傳送裝置，其特征在于，包括用于承載基板(90)的承載平臺、為傳送基板(90)提供動力的傳動機構、及如權利要求1-8中任一項所述的基板導向機構。

10.一種濕式設備，其特征在于，包括如權利要求9所述的基板傳送裝置。