[發(fā)明專利]高光譜分辨率干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810073580.5
• 申請日: 2018-01-25
• 公開（公告）號: CN110081979B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權）人: 張志勇
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G02B26/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

1.一種高光譜分辨率干涉儀，包括分束器以及位于分束器入光方向的光源，還包括分別位于分束器的反射出光方向與透射出光方向的反射光往返光路與透射光往返光路，返回的反射光與返回的透射光在所述分束器匯合后，在分束器一側的出光孔處被收集，其特征在于：

在反射光往返光路和/或透射光往返光路上設有N個移動角鏡單元與N-1個固定角鏡單元，N為大于或等于2的整數；

所述N個移動角鏡單元順序排列，所述N-1個固定角鏡單元分別與所述N個移動角鏡單元的鄰接位置呈相對布置，能夠將位于頭端的移動角鏡單元的出射光順序反射到位于尾端的移動角鏡單元，還能夠將位于尾端的移動角鏡單元返回的出射光順序反射到位于頭端的移動角鏡單元；

所述N個移動角鏡單元能夠相對所述N-1個固定角鏡單元平行移動，以使所述返回的反射光與返回的透射光之間產生光程差；

其中，還包括：

第一固定平面反射鏡與第二固定平面反射鏡，分別設置在分束器的反射出光方向與透射出光方向；

第一可移動角鏡組，具有順序排列的N個第一移動角鏡單元，位于頭端的第一移動角鏡單元與所述第一固定平面反射鏡的出射光相接；

第二可移動角鏡組，具有順序排列的N個第二移動角鏡單元，位于頭端的第二移動角鏡單元與所述第二固定平面反射鏡的出射光相接，所述第一可移動角鏡組與第二可移動角鏡組能夠朝向垂直于所述分束器的平面的方向同步地往返移動；其中，所述第一可移動角鏡組和第二可移動角鏡組呈反向背靠背地組合在一起；

N-1個第一固定角鏡單元，分別與所述N個第一移動角鏡單元的鄰接位置呈相對布置；

N-1個第二固定角鏡單元，分別與所述N個第二移動角鏡單元的鄰接位置呈相對布置；

第三固定平面反射鏡，將所述位于尾端的第一移動角鏡單元的出射光沿原路反射回去；

第四固定平面反射鏡，將所述位于尾端的第二移動角鏡單元的出射光沿原路反射回去。

2.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：所述第一可移動角鏡組和第二可移動角鏡組安裝在同一個導軌平臺上，在所述N-1個第一固定角鏡單元和N-1個第二固定角鏡單元之間往返移動。

3.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：所述第一固定平面反射鏡與第二平面反射鏡以所述分束器的平面為中心呈鏡面對稱布置。

4.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：所述第一固定角鏡單元與所述第二固定角鏡單元以所述分束器的平面為中心呈鏡面對稱布置。

5.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：所述第三固定平面反射鏡與第四平面反射鏡以所述分束器的平面為中心呈鏡面對稱布置。

6.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：所述第三固定平面反射鏡與第四固定平面反射鏡均連接有兩維轉動精密調節(jié)機構，用于調節(jié)干涉儀的干涉度。

7.根據權利要求1所述的高光譜分辨率干涉儀，其特征在于：在所述分束器的入光方向還設有離軸拋物鏡，用于將所述光源反射為平行光線。