[發明專利]電源一體型真空泵

有效

• 申請號: 201810073574.X
• 申請日: 2018-01-25
• 公開（公告）號: CN108506225B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 渡邊耕太
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;F04D29/08;F04D29/58
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發明提供一種可以一邊確保電源的散熱性能，一邊防止外部空氣侵入到電源的電源一體型真空泵。電源一體型真空泵包括：泵底座(4)；頂板(302)，固定在泵底座(4)上；傳熱構件(402)，以與泵底座(4)及頂板(302)相接觸的方式，設置在泵底座(4)與頂板(302)的固定部上；以及O形密封環(401)，設置在泵底座(4)與頂板(302)的固定部上，對泵底座(4)與頂板(302)之間進行密封。

技術領域

本發明涉及一種電源一體型真空泵。

背景技術

作為用于半導體制造裝置等的真空泵，眾所周知有利用馬達對形成有旋轉葉片的轉子(rotor)進行旋轉驅動，使旋轉葉片相對于固定葉片高速旋轉，而排出氣體的渦輪分子泵(turbo molecular pump)。在這種渦輪分子泵中，眾所周知有將泵本體與控制裝置形成為一體，利用冷卻風扇使泵本體及控制裝置冷卻的渦輪分子泵(例如，參照專利文獻1)。

在專利文獻1所述的渦輪分子泵中，是設為如下構成：通過在泵本體的底座與控制裝置的框體之間形成間隙，對所述間隙吹送冷卻風，而使控制裝置冷卻。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利2013-100760號公報。

發明內容

[發明所要解決的問題]

但是，在泵本體與控制裝置之間不但連接有電源電纜，而且在控制裝置上連接有設置在泵本體側的溫度傳感器及制動電阻(brake resistance)的電纜。因此，在泵本體與控制裝置之間介在有多條電纜，在控制裝置的框體上需要多個用于通入電纜的開口。其結果為，難以形成為防止外界的濕潤空氣侵入到控制裝置的框體內的構成，從而有可能產生因濕潤空氣侵入而引起的控制裝置的故障。

[解決問題的技術手段]

本發明的優選實施方式的電源一體型真空泵是包括泵轉子的泵本體與對泵本體供給電力的泵電源形成為一體的電源一體型真空泵，包括：泵框體，收納所述泵轉子；所述泵電源的電源框體，固定在所述泵框體上；傳熱構件，以與所述泵框體及所述電源框體相接觸的方式，設置在所述泵框體與所述電源框體的固定部上；以及密封構件，設置在所述泵框體與所述電源框體的固定部上，對所述泵框體與所述電源框體之間進行密封。

在更優選的實施方式中，包括對所述泵框體吹送冷卻風的冷卻風扇。

在更優選的實施方式中，在所述泵框體的被吹送所述冷卻風的區域內設置有散熱器(heat sink)。

在更優選的實施方式中，所述電源框體包括對設置在所述泵電源內的多個電氣零件的至少一部分進行固定，并且與所述傳熱構件相接觸的框體壁部。

在更優選的實施方式中，所述框體壁部包括用于使液體冷媒流通的冷媒通道。

在更優選的實施方式中，所述傳熱構件的熱傳導率大于等于所述泵框體的熱傳導率及大于等于所述電源框體的熱傳導率。

在更優選的實施方式中，所述傳熱構件兼作所述密封構件。

[發明的效果]

根據本發明，可以一邊確保電源的散熱性能，一邊防止外部空氣侵入電源。

附圖說明

圖1是表示本實施方式的電源一體型真空泵的概略構成的圖。

圖2是表示從泵單元側觀察電源的俯視圖。

圖3是說明電源與泵單元的固定部分的構造的圖。

圖4是表示第一變形例的圖。

圖5是表示第二變形例的圖。