[發(fā)明專利]一種多晶硅鑄錠設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810073254.4
• 申請(qǐng)日: 2018-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108193267A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘大元;唐珊珊;劉坤;張鵬飛;張健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東大海新能源發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻;張平平

1.一種多晶硅鑄錠設(shè)備，包括上爐室(1)、下?tīng)t室(2)、承重臺(tái)(3)、升降裝置(4)和爐室底座(5)，其特征在于：所述上爐室(1)內(nèi)設(shè)有保溫氈(11)，所述保溫氈(11)內(nèi)設(shè)有熔料坩堝(12)，位于所述熔料坩堝(12)與所述上爐室(1)保溫氈(11)之間的空間內(nèi)均勻設(shè)有若干第一加熱器(13)，所述熔料坩堝(12)與所述下?tīng)t室(2)之間通過(guò)硅液導(dǎo)管(14)相連通，所述硅液導(dǎo)管(14)下端設(shè)有硅液噴管(15)，所述下?tīng)t室(2)包括保溫罩(21)，所述保溫罩(21)固定連接于上爐室(1)底面，所述保溫罩(21)下部設(shè)有冷卻板(22)，所述冷卻板(22)與保溫罩(21)下部拼接，所述保溫罩(21)和冷卻板(22)組成密封的腔室，所述腔室內(nèi)設(shè)有結(jié)晶器(23)，所述結(jié)晶器(23)設(shè)于所述冷卻板(22)上，所述結(jié)晶器(23)包括結(jié)晶坩堝(231)、石墨護(hù)板(232)和熱交換塊(233)，結(jié)晶坩堝(231)設(shè)置在由石墨護(hù)板(232)圍構(gòu)而成的內(nèi)部空間結(jié)構(gòu)內(nèi)，結(jié)晶坩堝(231)的底部設(shè)置有熱交換塊(233)，所述結(jié)晶坩堝(231)外側(cè)面設(shè)有第二加熱器(24)，所述冷卻板(22)下設(shè)有承重臺(tái)(3)，所述承重臺(tái)(3)通過(guò)升降裝置(4)與爐室底座(5)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述的上爐室(1)和下?tīng)t室(2)的兩側(cè)分別設(shè)有通入爐室內(nèi)的進(jìn)氣管(6)和排氣管(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述硅液導(dǎo)管(14)內(nèi)相應(yīng)位置設(shè)有硅液流量控制閥(16)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述保溫罩(21)下部與冷卻板(22)連接處設(shè)有密封保溫墊(25)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述熔料坩堝(12)和結(jié)晶坩堝(231)壁上涂刷有能夠防止硅液污染的涂層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述冷卻板(22)上部設(shè)有凹槽(221)，所述凹槽(221)內(nèi)嵌有冷卻管路(222)，所述冷卻管路(222)設(shè)為蛇形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述爐室底座(5)通過(guò)爐室支架(8)與上爐室(1)固連，所述爐室底座(5)上所述的升降裝置(4)為剪叉式升降機(jī)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅鑄錠設(shè)備，其特征在于：所述下?tīng)t室(2)內(nèi)設(shè)有硅鉬棒(26)，該硅鉬棒(26)的一端插入爐室內(nèi)，硅鉬棒(26)的另一端通過(guò)加熱變壓器與溫控程序儀表連接，該溫控程序儀表與控制柜相連。