[發明專利]連接器及其制造方法、顯示屏

有效

• 申請號: 201810072480.0
• 申請日: 2018-01-25
• 公開（公告）號: CN108288437B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 詹裕程;羊振中
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;G09G3/00
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 楊廣宇

1.一種連接器，其特征在于，所述連接器包括：

柔性襯底基板，以及依次設置在所述柔性襯底基板上的緩沖層、輔助絕緣層、層間介質層、第一光阻層和第一導電圖案；

其中，所述第一導電圖案的一端與顯示面板上的數據信號線連接，所述第一導電圖案的另一端與設置在所述顯示面板的非顯示側的驅動集成電路IC連接，所述輔助絕緣層和所述層間介質層上設置有貫穿所述輔助絕緣層和所述層間介質層的接觸孔，所述第一光阻層設置在所述接觸孔內，所述第一導電圖案包括位于所述接觸孔內的第一導電子圖案和位于所述接觸孔外的第二導電子圖案，所述第一導電子圖案遠離所述柔性襯底基板的一面凹凸不平；

所述連接器還包括：層疊設置在所述第一導電圖案上的第二光阻層和第二導電圖案；

所述第二光阻層上設置有貫穿所述第二光阻層的至少兩個過孔，所述至少兩個過孔位于所述第二導電子圖案的上方，且所述至少兩個過孔分布于所述接觸孔的至少兩側，所述第二導電圖案通過所述至少兩個過孔與所述第二導電子圖案電連接；

所述第一光阻層遠離所述柔性襯底基板的一面呈波浪狀；所述第一導電子圖案呈波浪狀；所述第二光阻層中，被所述第一導電子圖案在所述第二光阻層上的正投影覆蓋的區域呈波浪狀；所述第二導電圖案中，被所述第一導電子圖案在所述第二導電圖案上的正投影覆蓋的區域呈波浪狀；

所述第一導電圖案與所述顯示面板中的源漏極金屬圖案采用相同的材料同層制備得到，所述第二導電圖案與所述顯示面板中的像素電極圖案采用相同的材料同層制備得到，所述輔助絕緣層與所述顯示面板中的柵絕緣層采用相同的材料同層制備得到；

所述連接器還包括：設置在所述柔性襯底基板與所述緩沖層之間的阻水層。

2.根據權利要求1所述的連接器，其特征在于，

所述柔性襯底基板的材質為聚酰亞胺。

3.一種顯示屏，其特征在于，所述顯示屏包括：顯示面板、驅動IC和權利要求1或2所述的連接器；

所述驅動IC設置在所述顯示面板的非顯示側，所述連接器用于連接所述顯示面板和所述驅動IC。

4.一種連接器的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一柔性襯底基板；

在所述柔性襯底基板上依次形成阻水層、緩沖層、輔助絕緣層和層間介質層；

在所述輔助絕緣層和所述層間介質層上形成貫穿所述輔助絕緣層和所述層間介質層的接觸孔；

在所述接觸孔內形成第一光阻層；

在形成有所述第一光阻層的層間介質層上形成第一導電圖案，所述第一導電圖案包括位于所述接觸孔內的第一導電子圖案和位于所述接觸孔外的第二導電子圖案，所述第一導電子圖案遠離所述柔性襯底基板的一面凹凸不平；

所述在形成有所述第一光阻層的層間介質層上形成第一導電圖案之后，所述方法還包括：

在形成有所述第一導電圖案的層間介質層上形成第二光阻層；

在所述第二光阻層上形成貫穿所述第二光阻層的至少兩個過孔，所述至少兩個過孔位于所述第二導電子圖案的上方，且所述至少兩個過孔分布于所述接觸孔的至少兩側；

在形成有所述至少兩個過孔的第二光阻層上形成第二導電圖案，所述第二導電圖案通過所述至少兩個過孔與所述第二導電子圖案連接；

其中，所述第一導電圖案的一端與顯示面板上的數據信號線連接，所述第一導電圖案的另一端與設置在所述顯示面板的非顯示側的驅動IC連接，所述第一光阻層遠離所述柔性襯底基板的一面呈波浪狀；所述第一導電子圖案呈波浪狀；所述第二光阻層中，被所述第一導電子圖案在所述第二光阻層上的正投影覆蓋的區域呈波浪狀；所述第二導電圖案中，被所述第一導電子圖案在所述第二導電圖案上的正投影覆蓋的區域呈波浪狀；

所述第一導電圖案與所述顯示面板中的源漏極金屬圖案采用相同的材料同層制備得到，所述第二導電圖案與所述顯示面板中的像素電極圖案采用相同的材料同層制備得到，所述輔助絕緣層與所述顯示面板中的柵絕緣層采用相同的材料同層制備得到。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述在所述接觸孔內形成第一光阻層，包括：

在所述接觸孔內涂覆光阻材料，以形成光阻薄膜層；

采用半遮光掩膜板或灰階掩膜板對所述光阻薄膜層進行曝光；

對曝光后的光阻薄膜層進行顯影，使形成的所述第一光阻層遠離所述柔性襯底基板的一面凹凸不平。