[發(fā)明專利]超聲波振動元件和超聲波傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810068187.7
• 申請日: 2018-01-24
• 公開（公告）號: CN108389958B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松納
• 申請（專利權(quán)）人: 業(yè)成科技（成都）有限公司;業(yè)成光電（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083
• 代理公司: 成都希盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51226
• 代理人: 楊冬梅;張行知

1.一種超聲波振動元件，用于接收外部驅(qū)動電壓以發(fā)出超聲波，所述超聲波振動元件包括：

壓電層層疊組件；

所述壓電層層疊組件包括層疊的至少兩層壓電材料層；所述壓電材料層的極化方向以交替地反轉(zhuǎn)地方式在所述壓電材料層的厚度方向上分層分布；

所述壓電層層疊組件還包括層疊于所述壓電材料層表面的導(dǎo)電層；所述導(dǎo)電層用于使所述至少兩層壓電材料層以互相串聯(lián)或并聯(lián)的方式接收外部驅(qū)動電壓；

所述壓電材料層的極化方向包括：

在厚度方向上依次分布的第一極化方向、第二極化方向；

其中，所述第一極化方向、第二極化方向彼此互為反轉(zhuǎn)方向且均與電壓施加方向平行；

其中，所述壓電層層疊組件至少包括依次層疊的第一壓電材料層和第二壓電材料層，若所述超聲波振動元件工作在發(fā)射模式，則所述第一壓電材料層和所述第二壓電材料層均發(fā)射出超聲波，若所述超聲波振動元件工作在接收模式，則所述第二壓電材料層發(fā)射出超聲波。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，所述壓電材料層采用的材料為壓電陶瓷、有機壓電材料、壓電復(fù)合材料中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，所述壓電材料層包括第一表面、第二表面，所述第一表面、第二表面均層疊所述導(dǎo)電層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，相鄰的至少兩層所述壓電材料層構(gòu)成壓電材料層組，所述壓電材料層組包括第一表面、第二表面，所述第一表面、第二表面均層疊所述導(dǎo)電層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，進(jìn)一步包括基板，所述壓電層層疊組件均位于所述基板的同一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，所述導(dǎo)電層層疊于所述壓電材料層表面的層疊方式包括：涂覆和/或?qū)訅悍绞健?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，所述壓電層層疊組件具有以使自身的共振頻率與超聲波頻率間的差值低于設(shè)定閾值的厚度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波振動元件，其特征在于，所述壓電材料層層疊于所述導(dǎo)電層表面或另一所述壓電材料層表面的層疊方式包括：涂覆和/或?qū)訅悍绞健?/p>

9.一種超聲波傳感器，包括權(quán)利要求1至8中任一項所述的超聲波振動元件。