[發明專利]非對稱放大檢查系統和照射模塊

有效

• 申請號: 201810065447.5
• 申請日: 2018-01-23
• 公開（公告）號: CN108345104B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 鮑里斯·戈爾伯格;翰·菲德門;伊多·多爾夫
• 申請（專利權）人: 應用材料以色列公司
• 主分類號: G02B23/02
• 分類號: G02B23/02;G02B27/09
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種光學檢查系統的照射模塊，包括：

源，所述源被構造為產生沿著第一光軸傳播的第一輻射束；

掃描器，所述掃描器被構造為掃描所述第一輻射束；

一對變形棱鏡，所述一對變形棱鏡包括第一變形棱鏡和第二變形棱鏡；其中所述一對變形棱鏡被構造為（a）從所述掃描器接收所述第一輻射束，和（b）非對稱地放大所述第一輻射束以提供沿著第二光軸傳播的第二輻射束，所述第二光軸平行于所述第一光軸；

直角棱鏡，所述直角棱鏡被構造為從所述一對變形棱鏡接收所述第二輻射束并且執行所述第二輻射束的側向移位以提供第三輻射束，其中所述一對變形棱鏡被構造為在所述第一輻射束和所述第二輻射束之間引入側向移位，并且其中由所述直角棱鏡引入的所述側向移位被構造為補償由所述一對變形棱鏡引入的所述側向移位；

旋轉機構，所述旋轉機構被構造為通過旋轉所述第一變形棱鏡和所述第二變形棱鏡中的至少一個來改變所述一對變形棱鏡的非對稱放大倍率；和

望遠鏡，所述望遠鏡被構造為從所述直角棱鏡接收所述第三輻射束并將所述第三輻射束提供至物鏡，以用于光學地操縱所述第三輻射束以提供入射至物體上的入射輻射束，其中在光瞳面處的所述第一輻射束的掃描被中繼至在所述望遠鏡的后焦平面上的掃描，使得所述第一輻射束的掃描被轉化成所述入射輻射束的掃描。

2.根據權利要求1所述的照射模塊，其中所述旋轉機構包括第一旋轉單元和第二旋轉單元，所述第一旋轉單元用于旋轉所述第一變形棱鏡，所述第二旋轉單元用于旋轉所述第二變形棱鏡。

3.根據權利要求1所述的照射模塊，包括中繼透鏡和分束光學元件。

4.一種光學檢查系統，所述光學檢查系統包括：

檢測器；

收集光學元件；

照射模塊，所述照射模塊能拆卸地連接到所述檢查系統的結構元件；

多個望遠鏡，所述多個望遠鏡由轉塔保持，并位于所述照射模塊和物體之間；

其中所述照射模塊包括：

源，所述源被構造為產生沿著第一光軸傳播的第一輻射束；

掃描器，所述掃描器被構造為掃描所述第一輻射束；

一對變形棱鏡，所述一對變形棱鏡包括第一變形棱鏡和第二變形棱鏡；其中所述一對變形棱鏡被構造為（a）從所述掃描器接收所述第一輻射束，和（b）非對稱地放大所述第一輻射束以提供沿著第二光軸傳播的第二輻射束，所述第二光軸平行于所述第一光軸；

直角棱鏡，所述直角棱鏡被構造為從所述一對變形棱鏡接收所述第二輻射束并且執行所述第二輻射束的側向移位以提供第三輻射束；和

望遠鏡，所述望遠鏡被構造為從所述直角棱鏡接收所述第三輻射束并將所述第三輻射束提供至物鏡，以用于光學地操縱所述第三輻射束以提供入射輻射束，所述入射輻射束入射到物體上，其中在光瞳面處的所述第一輻射束的掃描被中繼至在所述望遠鏡的后焦平面上的掃描，使得所述第一輻射束的掃描被轉化成所述入射輻射束的掃描；并且

其中所述收集光學元件被構造為朝向所述檢測器引導反射輻射束；其中所述反射輻射束因使用所述入射輻射束照射所述物體而從所述物體反射。

5.根據權利要求4所述的檢查系統，其中所述照射模塊包括旋轉機構，所述旋轉機構被構造為旋轉所述第一變形棱鏡和所述第二變形棱鏡中的至少一個，從而改變所述一對變形棱鏡的非對稱放大倍率。

6.根據權利要求5所述的檢查系統，其中所述旋轉機構包括第一旋轉單元和第二旋轉單元，所述第一旋轉單元用于旋轉所述第一變形棱鏡，所述第二旋轉單元用于旋轉所述第二變形棱鏡。

7.根據權利要求4所述的檢查系統，包括被構造為處理所述物體的圖像的圖像處理器；并且其中所述圖像是用由所述檢測器產生的檢測信號構造的。

8.根據權利要求4所述的檢查系統，其中所述一對變形棱鏡被構造為在所述第一輻射束和所述第二輻射束之間引入一定的側向移位；并且其中由所述直角棱鏡引入的所述側向移位經構造以補償所述一定的側向移位。