[發(fā)明專利]金剛石砂輪及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810063237.2 | 申請日： | 2018-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN110065011A | 公開（公告）日： | 2019-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 項(xiàng)剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 項(xiàng)剛 |
| 主分類號： | B24D18/00 | 分類號： | B24D18/00;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414 | 代理人： | 張全文 |
| 地址： | 237300 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金剛石砂輪 磁控濺射 金剛石輪 金剛石砂輪基體 納米類金剛石 制備 表面清潔 干燥處理 工作氣體 基體表面 濺射功率 碳?xì)錃怏w 氬氣 負(fù)偏壓 石墨 靶材 基底 濺射 | ||
1.一種金剛石砂輪，其特征在于，所述金剛石砂輪包括金剛石砂輪基體，以及設(shè)置在所述金剛石砂輪基體表面的納米類金剛石涂層。
2.如權(quán)利要求1所述的金剛石砂輪，其特征在于，所述納米類金剛石涂層的厚度為2-5μm。
3.如權(quán)利要求1或2所述的金剛石砂輪，其特征在于，還包括與所述金剛石砂輪基體相連的砂輪手柄。
4.一種金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供待處理的金剛石輪砂基體，進(jìn)行表面清潔后，干燥處理；
將所述金剛石輪砂基體置于PVD磁控濺射室中，以石墨作為靶材，以氬氣和碳?xì)錃怏w作為工作氣體，在所述金剛石輪砂基體表面磁控濺射納米類金剛石涂層，其中，所述磁控濺射過程中，濺射功率為1000W-4000W，濺射頻率40kHZ-200KHZ，基底負(fù)偏壓20V-100V，基體溫度30℃-100℃。
5.如權(quán)利要求4所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述碳?xì)錃怏w與所述氬氣的流量比為0.02-0.3。
6.如權(quán)利要求4所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述氬氣的純度大于等于99.995％。
7.如權(quán)利要求4-6任一項(xiàng)所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述磁控濺射過程中，所述碳?xì)錃怏w為甲烷，所述甲烷與所述氬氣的流量比為0.125，濺射功率為2600W，濺射頻率60kHz，基底負(fù)偏壓100V，基體溫度45℃。
8.如權(quán)利要求4-6任一項(xiàng)所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述表面清潔的方法為：將所述金剛石輪砂基體置于堿液中，進(jìn)行超聲清洗處理。
9.如權(quán)利要求4-6任一項(xiàng)所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述干燥處理的溫度為70-100℃，時間為10-60min。
10.如權(quán)利要求4-6任一項(xiàng)所述的金剛石砂輪的制備方法，其特征在于，所述金剛石砂輪還包括與所述金剛石砂輪基體相連的砂輪手柄，所述磁控濺射過程中，將所述砂輪手柄進(jìn)行保護(hù)處理，以避免所述砂輪手柄表面濺射類金剛石材料。
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