[發(fā)明專利]全自動(dòng)硅晶棒數(shù)控掏棒機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810062394.1
• 申請(qǐng)日: 2018-01-23
• 公開（公告）號(hào): CN108372598A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王江華;蔡毅祥;馮君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰華芯源半導(dǎo)體裝備有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/02
• 分類號(hào): B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 江陰市永興專利事務(wù)所(普通合伙) 32240
• 代理人: 劉菊蘭

1.一種全自動(dòng)硅晶棒數(shù)控掏棒機(jī)，包括上料區(qū)（1）、料倉（2）和刀架（6），料倉（2）和刀架（6）設(shè)置在底座（11）上，其特征在于，所述料倉（2）為圓形轉(zhuǎn)動(dòng)盤，料倉（2）上均勻排布有多個(gè)凹槽，上料區(qū)（1）連接料倉（2），上料區(qū)（1）內(nèi)的硅晶棒依次落入料倉（2）的凹槽中，料倉（2）與刀架（6）之間設(shè)有機(jī)械手臂（3），機(jī)械手臂（3）旁設(shè)有X光定向儀（4），刀架（6）兩邊對(duì)稱設(shè)置有立柱（5），刀架（6）連接在兩立柱（5）上，刀架（6）底部連接刀盤（61），刀盤（61）為圓環(huán)形，刀架（6）下方設(shè)有臺(tái)面（12），刀架（6）后方設(shè)置有開槽動(dòng)力頭（9），底座（11）上設(shè)置有第一電器柜（8）和第二電器柜（9），第一電器柜（8）中的電器元件控制刀架（6），第二電器柜（9）中的電器元件控制開槽動(dòng)力頭（9）；所述刀架（6）包括升降套（66），升降套（66）為空心柱體結(jié)構(gòu)，升降套（66）兩邊通過絲杠連接兩邊的立柱（5），每根絲杠頂部連接一個(gè)第一電機(jī)（64），所述兩根立柱（5）頂部通過一根橫梁（13）相互連接，橫梁（13）中央連接有一根齒條（62），所述齒條（62）齒條（62）連接橫梁（13）上設(shè)置的第二電機(jī)（64），齒條（62）穿過升降套（66）中央，齒條（62）底部連接一壓盤（61）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)硅晶棒數(shù)控掏棒機(jī)，其特征在于，所述升降套（66）內(nèi)通過軸承連接有一旋轉(zhuǎn)套（664），旋轉(zhuǎn)套（664）底部通過螺栓固定連接刀盤（65），所述旋轉(zhuǎn)套（664）外側(cè)設(shè)有一圈凹槽（661），凹槽（661）內(nèi)卡有齒輪架（662），齒輪架（662）與齒輪盤（663）相互連接，所述齒輪盤（663）為圓環(huán)形齒輪，齒輪架（662）固定在齒輪盤（663）內(nèi)環(huán)，齒輪盤（663）與設(shè)置在升降套（66）內(nèi)的電機(jī)的齒輪相互嚙合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)硅晶棒數(shù)控掏棒機(jī)，其特征在于，所述臺(tái)面（12）下方設(shè)置有傳送帶，傳送帶連接底座（11）側(cè)面設(shè)置的自動(dòng)出屑頭（10）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)硅晶棒數(shù)控掏棒機(jī)，其特征在于，所述臺(tái)面（12）為尼龍臺(tái)面。