[發明專利]一種基于DMD的光刻機3D灰度圖像曝光優化方法有效
| 申請號： | 201810060615.1 | 申請日： | 2018-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN108303856B | 公開（公告）日： | 2020-04-17 |
| 發明（設計）人： | 許成軍 | 申請（專利權）人： | 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G06T9/00;G06T1/20 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚華保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 dmd 光刻 灰度 圖像 曝光 優化 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于DMD的光刻機3D灰度圖像曝光優化方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：
（1）對圖形數據進行灰度圖像預處理，得到待處理的數據；
（2）根據公式B = (((J+N-1)/N) + T-1)/(T)，確定合適的線程數和線程塊的數量；其中，B表示線程塊的數量，J表示待處理的數據的字節數，N表示每個線程處理的字節數，T表示線程數；
（3）將待處理的數據進行分段處理；
（31）對每一段數據進行CUDA壓縮，將壓縮后的數據存儲在CUDA的共享內存SM1中；
（32）將各線程塊中共享內存SM1中的數據拷貝到全局內存GM1中；
（33）記錄每個線程壓縮后的數據大小K，同時將數據保存在共享內存SM2中；
（34）將各線程塊中共享內存SM2中的數據拷貝到全局內存GM2中；
（4）將分段處理后的數據進行重組，抽去無效數據；
步驟（31）中，采用逐像素壓縮算法對每一段數據進行CUDA壓縮，所述逐像素壓縮算法為：每個線程依次讀取分段數據中的每一字節數據，按像素壓縮數據，依次比較像素對連續存儲的像素進行計數，當計數值大于最大值時，重新計數統計，直到沒有數據。
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