[發(fā)明專利]彩色濾光片基板的制作方法及彩色濾光片基板在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810060013.6 | 申請(qǐng)日: | 2018-01-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108227283A | 公開(公告)日: | 2018-06-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張瑞軍;王松;范志翔;孟小龍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02F1/1335 | 分類號(hào): | G02F1/1335 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265 | 代理人: | 林才桂;王中華 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光阻層 彩色濾光片基板 彩色濾光層 基板 像素 光阻薄膜 透明部 像素區(qū) 遮光部 制作 彩色濾光片基 牛角 產(chǎn)品品質(zhì) 非像素區(qū) 黑色矩陣 碳化處理 陣列排布 透明的 段差 遮光 平坦 保證 | ||
1.一種彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:
步驟S1、提供一基板(1),所述基板(1)包括陣列排布的多個(gè)像素區(qū)(11)及位于各個(gè)相鄰的像素區(qū)(11)之間的非像素區(qū)(12);
步驟S2、在所述基板(1)上形成一層透明的光阻薄膜(2’);
步驟S3、對(duì)位于所述非像素區(qū)(12)內(nèi)的光阻薄膜(2’)進(jìn)行碳化處理,得到光阻層(2),所述光阻層(2)包括:位于所述各個(gè)像素區(qū)(11)內(nèi)的透明部(21)以及位于各個(gè)非像素區(qū)(12)內(nèi)的遮光部(22);
步驟S4、在所述光阻層(2)上形成彩色濾光層(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,所述彩色濾光層(3)包括:多個(gè)濾光單元(31),每一個(gè)濾光單元(31)對(duì)應(yīng)一個(gè)像素區(qū)(11)。
3.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,所述步驟S3中利用一掩膜板(100)對(duì)所述非像素區(qū)(12)內(nèi)的光阻薄膜(2’)進(jìn)行激光照射,使得所述非像素區(qū)(12)內(nèi)的光阻薄膜(2’)碳化。
4.如權(quán)利要求3所述的彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,所述激光照射的照度為103~105mw/cm2,照射時(shí)間為5~30秒。
5.如權(quán)利要求1所述的彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,還包括步驟S5、在所述彩色濾光層(3)上形成透明電極層(4)。
6.如權(quán)利要求5所述的彩色濾光片基板的制作方法,其特征在于,還包括步驟S6、在所述透明電極層(4)上形成間隙物(5)。
7.一種彩色濾光片基板,其特征在于,包括:基板(1)、位于所述基板(1)上的光阻層(2)以及位于所述光阻層(2)上的彩色濾光層(3);
所述基板(1)包括:陣列排布的多個(gè)像素區(qū)(11)及位于各個(gè)相鄰的像素區(qū)(11)之間的非像素區(qū)(12),所述光阻層(2)包括:位于所述各個(gè)像素區(qū)(11)內(nèi)的透明部(21)以及位于各個(gè)非像素區(qū)(12)內(nèi)的遮光部(22)。
8.如權(quán)利要求7所述的彩色濾光片基板,其特征在于,所述遮光部(22)由與所述透明部(21)相同的材料經(jīng)過碳化處理形成。
9.如權(quán)利要求7所述的彩色濾光片基板,其特征在于,所述彩色濾光層(3)包括:多個(gè)濾光單元(31),每一個(gè)濾光單元(31)對(duì)應(yīng)一個(gè)像素區(qū)(11)。
10.如權(quán)利要求7所述的彩色濾光片基板,其特征在于,還包括位于所述彩色濾光層(3)上的透明電極層(4)及位于所述透明電極層(4)上的間隙物(5)。
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G02F 用于控制光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào),上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的;用于上述操作的技術(shù)或工藝;變頻;非線性光學(xué);光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對(duì)強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的





