[發明專利]一種功率半導體器件的測試方法有效
| 申請號: | 201810058365.8 | 申請日: | 2018-01-22 |
| 公開(公告)號: | CN108344936B | 公開(公告)日: | 2020-05-08 |
| 發明(設計)人: | 黃昌民;詹小勇;許玉歡 | 申請(專利權)人: | 無錫昌德微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/26 | 分類號: | G01R31/26 |
| 代理公司: | 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315 | 代理人: | 程爽 |
| 地址: | 214028 江蘇省無錫市新吳*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 功率 半導體器件 測試 方法 | ||
1.一種功率半導體器件的測試方法,其特征在于,在常規測試反向漏電流的項目中,增加±IGSS和IDSS測試項目,所述±IGSS和IDSS項目設定為在±IGSS和IDSS測定電壓條件下測試反向漏電流,所述功率半導體的測試方法包括如下步驟:
步驟1:確定±IGSS測試電壓值;所述確定±IGSS測試電壓值的步驟如下:
(1)將被測產品在圖示儀上進行反向擊穿電壓測試,測出被測產品能夠承受的極限電壓;
(2)在被測產品能夠承受的極限電壓數值范圍內選擇測試電壓;
(3)在所述反向擊穿電壓測試中設定選擇的測試電壓,做批量測試調試,根據被測產品的合格率分析被測產品的最終測試電壓值;
步驟2:確定IDSS測試電壓值;
步驟3:采用確定的±IGSS和IDSS測定電壓值對被測產品進行所述反向漏電流測試。
2.如權利要求1所述的功率半導體器件的測試方法,其特征在于,所述步驟(2)中選擇的測試電壓為被測產品能夠承受的極限電壓的60%-80%。
3.如權利要求1所述的功率半導體器件的測試方法,其特征在于,所述確定IDSS測試電壓值的步驟如下:
(1)用常規測試程序測試批量產品,通過統計測試數據確定被測產品BVDSS參數數值分布;
(2)根據BVDSS參數數值分布情況,選擇一個電壓數值;
(3)在反向擊穿電壓測試程序中設定選擇的測試電壓,做批量測試調試,根據被測產品的合格率分析被測產品的最終測試電壓值。
4.如權利要求3所述的功率半導體器件的測試方法,其特征在于,所述步驟(2)中選擇的電壓數值大于BVDSS參數數值分布的最大值。
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