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[發(fā)明專利]一種高輸出功率的YAG晶體的制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810055793.5 申請日: 2018-01-20
公開(公告)號: CN110067025A 公開(公告)日: 2019-07-30
發(fā)明(設(shè)計)人: 陳曉達;王根強;孫健 申請(專利權(quán))人: 河北胤丞光電科技有限公司
主分類號: C30B29/28 分類號: C30B29/28;C30B15/00;H01S3/16
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 053000 河北省衡水市經(jīng)濟開發(fā)*** 國省代碼: 河北;13
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 制備 高輸出功率 晶體的 坩堝 激光輸出功率 內(nèi)部應力平衡 拋光加工過程 熔體表面 生長狀況 斷裂的 拋光液 補氧 成核 寄生 減小 浸蝕 晶形 磨痕 整平 溶解 生長 觀察
【權(quán)利要求書】:

1.一種高輸出功率的YAG晶體的制備方法,其特征在于,包括步驟:

(1)將Yb:YAG激光晶體原料投入到銥坩鍋中,將銥坩鍋抽取真空至-0.05MPa,并輸入高純氬氣正壓保護,對銥坩鍋進行升溫加熱,至450~600℃,持續(xù)2小時后,將銥坩鍋進行加熱至750~900℃,持續(xù)3小時后,將銥坩鍋進行加熱至1050~1300℃,持續(xù)2小時;

(2)當Yb:YAG激光晶體原料開始融化,以每小時50℃的速率升溫,直至Yb:YAG激光晶體墊料完全融化后,保溫1小時;繼續(xù)以每小時80℃的速率升溫當銥坩鍋內(nèi)溫度到2000~2100℃左右停止加熱;

(3)再次對銥坩鍋添加Yb:YAG激光晶體原料,觀察銥坩鍋內(nèi)狀況,二次融化料后維持恒溫,在籽晶桿上安放一顆籽晶,讓籽晶接觸熔融液面,待籽晶表面稍熔后,降低溫度至熔點,提拉并轉(zhuǎn)動籽晶桿,使熔體頂部處于過冷狀態(tài)而結(jié)晶于籽晶上,在不斷提拉和旋轉(zhuǎn)過程中,生長出圓柱狀晶體,待晶體生長至設(shè)定長度后停爐,提起晶體恒溫保持1-2h;

(4)將步驟(3)中生長好的Yb:YAG激光晶體棒放入真空退火爐內(nèi),用真空泵將真空退火爐抽取真空至-0.07MPa,打開充氣裝置,通過真空管向真空退火爐內(nèi)供輸?shù)獨夂脱鯕獾捏w積比為1:1的混合氣體;

(5)以5℃/min的升溫速率,對真空退火爐進行溫度升溫,升溫至1450℃,保溫5小時,并提高真空退火爐內(nèi)的補氧量,進行恒溫補氧;

(6)以6℃/min的降溫速率,對真空退火爐進行降溫,降溫至600℃,后,關(guān)閉真空泵和真空退火爐,然后隨爐冷卻至室溫;

(7)取出步驟(6)得到的Yb:YAG激光晶體,用干涉儀觀察該Yb:YAG激光晶體的干涉條紋,若干涉條紋不是直線條,則重復以上步驟,直至干涉條紋為直線條為止;

(8)對步驟(7)制得的Yb:YAG激光晶體進行拋光,使用吸管點加拋光液至正在拋光的Yb:YAG激光晶體,當拋光加工完成后,用水將Yb:YAG激光晶體表面的拋光液沖洗;

(9)在反應釜內(nèi)放置漆片50份,然后加入酒精25份充分稀釋融化至飽和狀態(tài)后,再加入白灰粉15份均勻攪拌后,將步驟(10)所得的Yb:YAG激光晶體放入浸泡1小時;

(10)將Yb:YAG激光晶體撈出,放入馬弗爐中在145~220℃下加溫2小時取出,靜置降溫后,再將Yb:YAG激光晶體用去離子水清洗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述拋光液由以下重量份的原料組成:硝酸10份、去離子水80份、乳化剛玉7份和十二醇硫酸鈉3份組成。

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