[發明專利]一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法

有效

• 申請號: 201810053886.4
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108396312B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 王宏志;陳彥平;王剛;何中媛;李耀剛;張青紅;侯成義
• 申請（專利權）人: 東華大學
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12;B05D1/28
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所 31233
• 代理人: 黃志達;魏峯

1.一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，包括：

(1)將摩爾比為72.5:7.5:20～73:7:20的銦鹽、鎵鹽和鋅鹽溶解于超純水中，室溫避光攪拌，得到濃度為0.1～0.3mol/L的混合物水溶液，過濾，得到過濾后的混合物水溶液；

(2)將絕緣基底清洗干凈后，高純氬氣吹干，氧氣等離子體處理，然后加熱至70～90℃，保持恒溫待用；

(3)采用毛刷蘸取步驟(1)得到的過濾后的混合物水溶液刷涂到步驟(2)得到的恒溫絕緣基底上，得到凝膠薄膜，將帶有凝膠薄膜的基底迅速轉移，280～320℃下熱處理，得到高平整度金屬氧化物薄膜；其中毛刷的材質為天然毛料，選自豬鬃、羊毛、馬毛或白棕；刷涂速度為0.2～0.3mm/s；熱處理的工藝參數為：熱處理環境為空氣，熱處理時間為4～6min。

2.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(1)中銦鹽為硝酸銦，鎵鹽為硝酸鎵，鋅鹽為硝酸鋅；超純水的電阻率為18.2MΩ。

3.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(1)中室溫避光攪拌的時間為8～10h。

4.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(1)中過濾的工藝條件為：采用裝有孔徑為0.22μm過濾頭的注射器進行過濾。

5.根據權利要求4所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述過濾頭的材質為疏水聚四氟乙烯或疏水偏四氟乙烯。

6.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(2)中的絕緣基底為二氧化硅、氧化鋁或者氧化鋯；高純氬氣的純度為99.999％及以上。

7.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(2)中絕緣基底清洗的工藝條件為：依次用超純水、丙酮、異丙醇超聲清洗10～20min。

8.根據權利要求1所述的一種快速制備高平整度金屬氧化物薄膜的方法，其特征在于：所述步驟(2)中氧氣等離子體處理的工藝參數為：射頻功率為30～50W，處理時間為5～10min。