[發明專利]一種改進的偽四線測試方法及其測試結構

有效

• 申請號: 201810050675.5
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN108254672B
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 王磊
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

本發明提出一種改進的偽四線測試方法及其測試結構，所述測試方法包括下列步驟：在測試設備輸入端分別接入DPS電源高位激勵端和測試通道輸入端；獲取測試設備輸出端的負載電流測試數據和建立時間數據；獲取測試設備輸出端的輸出電壓數據。本發明提出的改進的偽四線測試方法及其測試結構，解決了在同一測試流程中一次就可以測量建立時間(不帶負載)和輸出電壓(帶負載)，現有技術一般通過分別兩次測量(需更換硬件)或通過復雜的開關矩陣板來實現同一測試流程測試。

技術領域

本發明涉及半導體集成電路測試領域，且特別涉及一種改進的偽四線測試方法及其測試結構。

背景技術

當今集成電路產業飛速發展，集成電路種類越來越多，而數字集成電路在其中占據了很大的份額。數字集成電路功能繁多，管腳數各異，速度千差萬別。數字集成電路產業的發展為我們追求的數字化生活奠定了堅實的基礎，大量的芯片被生產出來，由于芯片在設計制造封裝使用過程中都有可能出現故障，因而要對其進行測試。

數字集成電路測試包含功能測試、直流參數測試和交流參數測試，測試速度是測試儀最重要的指標之一。在三種測試中功能測試是基礎，另外兩種測試都是建立在功能測試之上的。其中直流參數測試在集成電路的設計、生產及維護中起著舉足輕重的作用，尤其是在大規模生產中，直流參數測試的應用非常廣泛，它往往是評價集成電路合格與否的關鍵。

直流參數測試通常包括直流電壓和直流電流的測試。直流電壓和電流測試的基本方法是施加電壓測電流(FVMI)和施加電流測電壓(FIMV)。施加電壓測電流是在芯片的某些引腳上施加恒定電壓值，然后在相應的輸出引腳測試響應電流；施加電流測電壓是在芯片的引腳施加恒定電流值，然后測試其輸出響應的電壓。

現有技術中需要測量建立時間和負載輸出電壓時，一般通過分別兩次測量(需更換硬件)或通過復雜的開關矩陣板來實現同一測試流程測試。例如，在進行模擬IP測試(如穩壓器測試)期間，我們需要測試建立時間和負載輸出電壓，由于測試儀器的限制，有時我們需要雙倍的時間來收集測試建立時間和負載輸出電壓數據，或者我們需要建立復雜的開關矩陣來進行上述測試。

發明內容

本發明提出一種改進的偽四線測試方法及其測試結構，解決了在同一測試流程中一次就可以測試建立時間和測試負載輸出電壓的問題。

為了達到上述目的，本發明提出一種改進的偽四線測試方法，包括下列步驟：

在測試設備輸入端分別接入DPS電源高位激勵端和測試通道輸入端；

獲取測試設備輸出端的負載電流測試數據和建立時間數據；

獲取測試設備輸出端的輸出電壓數據。

進一步的，所述測試設備連接有接地的低位激勵端和接地的低位測量端。

進一步的，所述測試設備為穩壓器。

為了達到上述目的，本發明還提出一種改進的偽四線測試結構，包括：

DPS電源高位激勵端，連接于測試設備的輸入端；

測試通道輸入端，連接于測試設備的輸入端；

負載電流測試數據和建立時間數據測試接口，連接于所述測試設備的輸出端；

輸出電壓數據測試接口，連接于所述測試設備的輸出端。

進一步的，所述測試設備連接有接地的低位激勵端和接地的低位測量端。

進一步的，所述測試設備為穩壓器。

本發明提出的改進的偽四線測試方法及其測試結構，解決了在同一測試流程中一次就可以測量建立時間和負載輸出電壓，現有技術一般通過分別兩次測量(需更換硬件)或通過復雜的開關矩陣板來實現同一測試流程測試。

附圖說明