[發明專利]隧道式濺射鍍膜機

在審

• 申請號: 201810050212.9
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN108425093A
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 李可峰;許仁;符東浩;虞文韜;王偉
• 申請（專利權）人: 維達力實業（深圳）有限公司;萬津科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 向薇

1.一種隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，包括鍍膜筒、射頻離子源、鍍膜掛架以及掛架驅動部件，所述鍍膜筒包括內筒以及外筒，所述內筒以及所述外筒之間具有間隔且該間隔形成鍍膜腔，所述鍍膜腔的兩端封閉，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述鍍膜掛架呈環狀，所述鍍膜掛架位于所述鍍膜腔內且所述鍍膜掛架套設于所述內筒，所述鍍膜掛架上連接有多個用于供待鍍基材放置的掛桿，所述掛架驅動部件連接于所述鍍膜掛架以用于驅動所述鍍膜掛架轉動。

2.根據權利要求1所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括靶槽擋板，所述靶槽擋板的數量與所述鍍膜靶槽的數量一致，多個所述靶槽擋板與多個所述鍍膜靶槽一一對應，所述靶槽擋板連接在所述外筒的朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述靶槽擋板用于打開或者關閉所述鍍膜靶槽。

3.根據權利要求1所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上；或者，所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，所述射頻離子源的數量為多個。

5.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，所述內筒呈圓柱狀，所述外筒呈圓柱狀，所述鍍膜掛架呈圓環狀，所述內筒、所述外筒以及所述鍍膜掛架共軸。

6.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括第一鍍膜遮擋件，所述第一鍍膜遮擋件呈筒形，所述第一鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述內筒之間，所述第一鍍膜遮擋件套設于所述內筒，所述第一鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅動部件，所述第一鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架能夠同步運動，所述第一鍍膜遮擋件的側壁上具有多個第一鍍膜通孔，多個所述第一鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應。

7.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括第二鍍膜遮擋件，所述第二鍍膜遮擋件呈筒形，所述第二鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述外筒之間，所述第二鍍膜遮擋件套設于所述鍍膜掛架，所述第二鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅動部件，所述第二鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架相對靜止，所述第二鍍膜遮擋件的側壁上具有多個第二鍍膜通孔，多個所述第二鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應。

8.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括預進料室，所述外筒的側壁具有進料口，所述預進料室位于所述外筒的外部且連接于所述外筒，所述預進料室通過所述進料口連通于所述鍍膜腔。

9.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括傳動軸、主動齒輪以及傳動齒輪，所述傳動軸連接在所述鍍膜掛架底面的中部，所述主動齒輪套設連接于所述掛架驅動部件的驅動軸上，所述傳動齒輪套設連接在所述傳動軸上，所述主動齒輪與所述傳動齒輪齒合。

10.根據權利要求1-3任意一項所述的隧道式濺射鍍膜機，其特征在于，還包括自轉驅動部件，所述自轉驅動部件的數量與所述掛桿的數量一致，各個所述自轉驅動部件均連接在所述鍍膜掛架上，各個所述自轉驅動部件上分別連接有一個所述掛桿，所述自轉驅動部件用于驅動所述掛桿相對于所述鍍膜掛架轉動。