[發明專利]一種石英砂提純方法在審
| 申請號: | 201810048614.5 | 申請日: | 2018-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN108033454A | 公開(公告)日: | 2018-05-15 |
| 發明(設計)人: | 蘇明杰;董安華 | 申請(專利權)人: | 蘇明杰 |
| 主分類號: | C01B33/12 | 分類號: | C01B33/12 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 638500 四川省*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英砂 提純 方法 | ||
1.一種石英砂提純方法,其特征在于,包括如下步驟:
(1)將石英砂清洗烘干,放置在密閉容器中進行預熱至800-1050攝氏度;
(2)在密閉容器中充入保護氣體,使用激光對預熱后的石英砂進行輻照,輻照過程中同時開啟超聲波對準輻照中的石英砂;同時開啟密閉容器的換氣裝置對容器內的保護氣體進行循環;
(3)對輻照后的石英砂進行退火處理后刻蝕。
2.如權利要求1所述的石英砂提純方法,其特征在于,所述保護氣體為氬氣。
3.如權利要求1所述的石英砂提純方法,其特征在于,所述保護氣體加入氣壓為1.2-2個大氣壓。
4.如權利要求1所述的石英砂提純方法,其特征在于,所述步驟(3)中刻蝕厚度為1-300微米。
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