[發明專利]一種具有強膜基粘附力的金剛石薄膜的制備方法

在審

• 申請號: 201810046750.0
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN108396307A
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 楊黎;侯明;郭勝惠;彭金輝;胡途;王梁;葉小磊
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/02;C23C16/517
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有強膜基粘附力的金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

（1）預處理：將鈦片用砂紙打磨處理，依次采用無水乙醇處理、去離子水超聲波清洗去除鈦片表面粉末，然后置于HF和HNO₃的混合酸液中浸泡1~5min并用去離子水清洗干凈得到酸處理鈦片，將酸處理鈦片置于溫度為70~100℃的NaOH溶液中進行水熱處理2~4h得到水熱處理鈦片，再將水熱處理鈦片置于NaHCO₃溶液中浸泡1~3h并用沸騰的去離子水清洗干凈即得預處理鈦片；

（2）以步驟（1）所得預處理鈦片為基體，在預處理鈦片表面進行微波等離子化學氣相沉積金剛石薄膜即得具有強薄膜基體粘附力的金剛石薄膜，其中化學氣相沉積成核過程的基體溫度為500~700℃，腔體壓強3~5KPa，微波功率為2100~2600W；化學氣相沉積生長過程的基體溫度為700~900℃，腔體壓強5~7KPa，微波功率為2600~3000W；化學氣相沉積的工作氣體為甲烷和氫氣的混合氣體。

2.根據權利要求1所述具有強膜基粘附力的金剛石薄膜的制備方法，其特征在于：步驟（1）HF和HNO₃的混合酸液中HF的質量百分數濃度為1~5%，HNO₃的質量百分數濃度為10~15%；NaOH溶液的濃度為3~15mol/L，NaHCO₃溶液的質量百分數濃度為5~15%。

3.根據權利要求1所述具有強膜基粘附力的金剛石薄膜的制備方法，其特征在于：步驟（2）甲烷和氫氣的混合氣體中甲烷的體積分數為1~5%。