[發明專利]一種蒸發源以及蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 201810045487.3
• 申請日: 2018-01-17
• 公開（公告）號: CN108004512A
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 胡長奇;王夢帝
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種蒸發源，用于蒸鍍裝置，其特征在于，包括：蒸發箱、坩堝和加熱單元；

所述蒸發箱包括相對設置的頂板和底板、位于所述頂板和所述底板間且相對設置的第一側板和第二側板以及選擇性開合的第一端板和第二端板；所述頂板朝向所述底板的一側設有用于與所述坩堝滑動配合、以使所述坩堝可自所述第一端板和/或第二端板對應端部進出的連接部，所述底板具有用于向背離所述頂板方向噴出氣體的噴氣孔組；

所述坩堝包括具有開口朝向所述頂板的坩堝本體和設于所述坩堝本體外側的折邊，所述折邊上設有多個出氣口，且所述坩堝本體通過所述折邊與所述連接部滑動配合；當所述第一端板和第二端板扣合時，所述坩堝、連接部、頂板以及折邊配合形成蒸發室；

所述加熱單元置于所述蒸發箱內、且置于蒸發室外側。

2.根據權利要求1所述的蒸發源，其特征在于，所述連接部包括設于所述蒸發箱頂板的鉤塊，所述鉤塊包括沿所述頂板到底板方向延伸的連接區以及與所述連接區延伸方向垂直、用于與所述坩堝的折邊滑動配合的承載區，所述坩堝的折邊搭接于所述承載區朝向所述頂板一側，且所述坩堝上的多個所述出氣孔設于所述折邊未與所述承載區搭接部分。

3.根據權利要求1所述的蒸發源，其特征在于，還包括用于冷卻所述蒸發箱的冷卻單元；

所述冷卻單元置于所述蒸發箱的外側，且所述冷卻單元包括用于支撐并冷卻所述蒸發箱底板的底部冷卻單元；所述底部冷卻單元通過連接組件與所述蒸鍍裝置中的蒸鍍腔室可拆卸連接；所述底部冷卻單元具有開縫，用以使所述噴氣孔組自所述開縫伸出、朝向所述蒸鍍腔室底部方向。

4.根據權利要求3所述的蒸發源，其特征在于，所述冷卻單元還包括用于冷卻所述蒸發箱頂板的頂部冷卻單元、用于冷卻所述第一側板的第一側部冷卻單元以及用于冷卻所述第二側板的第二側部冷卻單元。

5.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，所述冷卻單元為水冷板。

6.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，還包括置于所述蒸發箱外側的保溫單元。

7.根據權利要求6所述的蒸發源，其特征在于，所述保溫單元包括置于所述第一側板與所述第一側部冷卻單元之間的第一側部保溫板、置于所述第二側板與所述第二側部冷卻單元之間的第二側部保溫板、置于所述蒸發箱頂板與所述頂板冷卻單元之間的頂部保溫板以及置于所述蒸發箱底板與所述底部冷卻單元之間的底部保溫板。

8.根據權利要求7所述的蒸發源，其特征在于，所述底部冷卻單元朝向所述蒸發箱的一側設有固定塊，所述底部保溫板設有與所述固定塊形狀對應的長槽，以使所述固定塊自所述長槽伸出支撐并固定所述蒸發箱。

9.根據權利要求1所述的蒸發源，其特征在于，所述加熱單元包括置于所述第一側邊板朝向所述坩堝一側的第一側部加熱板、置于所述第二側邊板朝向所述坩堝一側的第二側部加熱板以及置于所述底板朝向所述坩堝一側的底部加熱板。

10.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括蒸鍍腔室、置于所述蒸鍍腔室內的承載平臺以及置于所述蒸鍍腔室內的如權利要求1-9任一項所述的蒸發源；

所述承載平臺朝向所述蒸發源的一側具有用于承載基板的承載面，所述承載平臺背離所述承載面的一側設有用于與所述蒸鍍腔室的底部滑動配合以使所述承載平臺可相對所述蒸鍍腔室的底部滑動的滑動組件。

11.根據權利要求10所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍腔室還包括設于所述蒸鍍腔室頂部的連接組件，所述蒸發源通過底部冷卻單元與所述連接組件可拆卸連接。

12.根據權利要求10所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述承載平臺的承載面設有用于固定所述基板的固定裝置。