[發明專利]一種硅加工過程中含硅廢水處理技術在審

申請號：	201810037332.5	申請日：	2018-01-16
公開（公告）號：	CN108128933A	公開（公告）日：	2018-06-08
發明（設計）人：	鄢洪建	申請（專利權）人：	四川大學
主分類號：	C02F9/04	分類號：	C02F9/04;C02F101/10
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地址：	610065 四川***	國省代碼：	四川;51
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摘要：
搜索關鍵詞：	含硅廢水預處理硅加工固液分離絮凝
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【說明書】：

本發明公開一種硅加工過程中含硅廢水處理技術，它能快速、經濟、可靠地實現含硅廢水的處理。本技術包括以下幾個步驟：（1）將含硅廢水進行一級預處理，調節含硅廢水的pH值在0.5~5之間；（2）對經過一級預處理后的含硅廢水進行二級預處理，調節含硅廢水的pH值在5~9之間；（3）絮凝；（4）固液分離。

技術領域

本發明涉及廢水處理技術領域，具體為硅片切割加工過程中產生的含硅廢水的處理。

背景技術

近年來，隨著全球石油、煤等化石能源的日益枯竭，太陽能越來越成為最重要的、清潔的新能源，全球的太陽能產業進入了高速發展期。同時，高純晶體硅材料在半導體工業中也得到了廣泛應用。隨著全球范圍內太陽能產業和半導體工業的快速發展，硅片需求量急劇增長。在硅片的加工過程中，有高達50%~52%的晶體硅以硅粉的形式損失掉了。含硅廢水中的硅粉非常細，粒徑在0.1~1mm范圍。大部分細小顆粒懸浮于水中，難以沉積，即使靜置半年以上，含硅廢水仍處于混濁的狀態。

由于含硅廢水中硅粉顆粒細小，一般的過濾處理后的水仍然具有很高的混濁度，難以達到排放標準，同時過濾效率低、更換濾布周期短，成本高。

目前，硅片加工企業含硅廢水的處理方法主要是按含一般懸浮物的廢水的處理方法進行處理，即先加入絮凝劑（如聚合氯化鋁、聚合氯化鐵、聚丙烯酰胺等）是含硅廢水絮凝沉淀，然后進行壓濾進行固液分離。但這種方法仍然存在效率低、成本高、處理效果差等問題。

專利CN103272433A公開了一種含硅粉廢水過濾凈化處理方法,該方法是以珍珠巖或者硅藻土為助濾劑,用箱式壓濾機過濾。該發明的優點是處理后水為中性，但仍然存在不足之處，主要是前期濾液不合格，濾布堵塞嚴重，難清洗，且需要不斷的更換濾布，成本高。

專利CN101683981A公開了硅切割廢水中硅粉和廢水回收利用裝置及其方法，該發明利用電解系統，離心分離系統，干燥系統，過濾系統，進行分離。

專利CN104671498A公開了一種含超細硅粉的處理方法及裝置。該發明以20%~32%NaOH溶液作為沉淀劑，使廢水中的超細硅粉發生絮凝。該方法的不足之處是，硅粉容易堿反應產生氫氣，這會帶來安全隱患。

發明內容

本發明所述含硅廢水的處理方法，包括以下步驟：

（1）將含硅廢水進行一級預處理，調節含硅廢水的pH值在0.5~5之間。一級預處理所用的處理劑含有Al₂(SO₄)₃, Fe₂(SO₄)₃, H₂SO₄, AlCl₃, FeCl₃, HCl, Al(NO₃)₃, Fe(NO₃)₃,HNO₃, SiCl₄, HSiCl₃, H₂SiCl₂, H₃SiCl中的一種或幾種。