[發(fā)明專利]顆粒捕捉器及其應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810035051.6
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN108031204B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎微明;李翔;胡彬;左敏
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 朱少華

本發(fā)明公開了一種顆粒捕捉器，其由捕捉器殼體(1)、捕捉器蓋(2)、導(dǎo)流器外殼(3)、導(dǎo)流器(4)以及濾芯(5)；所述導(dǎo)流器外殼(3)內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流器(4)，所述導(dǎo)流器(4)外側(cè)設(shè)有若干增加氣體行程的螺旋葉片，其導(dǎo)流器外殼，捕捉導(dǎo)流器，濾芯都裝在捕捉器殼體里，然后蓋上捕捉器蓋，組成一個完整的密封的顆粒捕捉器整體，在捕捉器的蓋上有氣體的進氣口和出氣口，這樣的設(shè)計主要是增加被抽出的含TMA(三甲基鋁)氣體在顆粒捕捉器內(nèi)的時間，同時，對顆粒捕捉器內(nèi)釋放少量空氣，使空氣里的水分和被抽進來的TMA充分反應(yīng)，生成氧化鋁粉末顆粒，吸附在顆粒捕捉器的內(nèi)壁上，減少對出氣口的抽氣的真空泵的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于管式ALD設(shè)備，具體涉及一種尾氣處理裝置。

背景技術(shù)

顆粒捕捉器屬于尾氣處理裝置，專利201310141393.3，公開了一種顆粒收集裝置及尾氣處理系統(tǒng)，該顆粒收集裝置，包括管道本體和濾網(wǎng)；所述管道本體的下方為進氣口，上方為出氣口；所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。本發(fā)明用于對半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣進行處理。

專利201510291216.2，公開了一種霧霾顆粒收集處理裝置，其中靜電旋風顆粒捕捉器總成包括靜電旋風顆粒捕捉器總成進氣口、外筒、內(nèi)筒、顆粒收集器、靜電旋風顆粒捕捉器總成出氣口、芒刺電極和中心柱，所述的靜電旋風顆粒捕捉器總成進氣口與凝聚器出氣口相連接，所述的內(nèi)筒設(shè)置在外筒內(nèi)一端與靜電旋風顆粒捕捉器總成出氣口相連接，所述的外筒內(nèi)設(shè)置有中心柱，所述的中心柱的表面均勻設(shè)置有芒刺電極，所述的外筒底部設(shè)置有顆粒收集器。

上述現(xiàn)有技術(shù)的第一個專利下方為進氣口，上方為出氣口的形式，氣體流道短，氣體顆粒不能充分在收集裝置中沉積；第二個專利中，采用電磁場對氣體中含有的顆粒收集，主要是針對空氣凈化領(lǐng)域，與本專利適用的技術(shù)領(lǐng)域不同。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上技術(shù)問題，本發(fā)明要改善現(xiàn)有顆粒捕捉器的以下缺點：氣體的流道短，效率低下；原設(shè)計拆卸不方便；維護時間間隔短；成本高。

本發(fā)明的顆粒捕捉器，由捕捉器殼體1、捕捉器蓋2、導(dǎo)流器外殼3、導(dǎo)流器4 以及濾芯5。

導(dǎo)流器外殼3、導(dǎo)流器4以及濾芯5放置在捕捉器殼體1內(nèi)，捕捉器蓋2蓋在捕捉器殼體1上部，導(dǎo)流器外殼3及濾芯5從捕捉器蓋2內(nèi)伸出，捕捉器蓋2連接顆粒捕捉器及機器設(shè)備。

導(dǎo)流器外殼3內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流器4，所述導(dǎo)流器4外側(cè)設(shè)有若干增加氣體行程的螺旋葉片，螺旋葉片的根部連接導(dǎo)流器4上；尾氣由總進氣口6進入導(dǎo)流器外殼3內(nèi)，氣體沿螺旋葉片行走，增加氣體行程，讓氣氛中的三甲基鋁和空氣中的水分作充分完全反應(yīng)；導(dǎo)流器4上設(shè)有供氣體流過的規(guī)則的或者不規(guī)則的小孔，氣體經(jīng)過這些小孔流出，而生成的氧化鋁粉末粘在導(dǎo)流器4的外側(cè)。

導(dǎo)流器外殼3的底部也設(shè)有小孔，通過該小孔，氣體從導(dǎo)流器4內(nèi)溢出。

導(dǎo)流器外殼3與濾芯5并排放置，總進氣口6設(shè)置在導(dǎo)流器外殼3的上部，總出氣口7設(shè)置在濾芯5的上部。

導(dǎo)流器外殼3通過其底部上的小孔與濾芯5相連通。

卡鉗將捕捉器蓋2與導(dǎo)流器外殼3、濾芯5與機器連接，同時導(dǎo)流器外殼3與濾芯5通過腳底8固定，腳底8通過螺紋與捕捉器殼體1固定；松掉卡鉗，轉(zhuǎn)動底腳8，將底腳8上調(diào)約10mm,此時顆粒捕捉器底部的滾輪接觸地面，捕捉器蓋與殼體已經(jīng)脫開，這樣，方便地把捕捉器殼體連同導(dǎo)流器外殼、導(dǎo)流器、濾芯一起拖出清理。

進一步優(yōu)選的技術(shù)方案，導(dǎo)流器4為焊有法蘭的中空不銹鋼管，不銹鋼管上設(shè)有規(guī)則的小孔。

有益效果：

(1)氣體的流道增長，增加氧化鋁粉末沉積面積，提高過濾粉末效率。

(2)該設(shè)計拆卸方便，把卡鉗松掉，就可把捕捉器殼體連同導(dǎo)流器外殼、導(dǎo)流器、濾芯一起拖出清理。