[發明專利]自動光學檢測設備

在審

• 申請號: 201810034636.6
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN108375582A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 魏志凌;王武懷;孫杰
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種自動光學檢測設備，由雙驅移動Y軸帶動檢測工件平臺做Y方向的運動，由單驅移動X軸帶動相機組件做X方向運動，優選由滾珠絲杠結構帶動相機組件做Z方向的運動，XYZ三軸的合成運動完成空間三維運動。主要用于檢測金屬掩膜板、太陽能絲網等表面具有細微缺陷的片材，用于填補市面上的空白。

技術領域

本發明屬于半導體領域，具體涉及一種網板的自動光學檢測設備。

背景技術

在金屬掩膜板和太陽能絲網制作過程中，金屬掩膜板和太陽能絲網上會制作有很多微小的開口，而制造工藝及環境的影響會造成在制造過程中產生具有瑕疵的開口，此類開口為可修復的缺陷，若能通過檢測設備檢測到缺陷并對其進行修復就可以提高產品的良率。

目前市面上用于檢測網板開口瑕疵的檢測設備的檢測精度大都不高，很難達到檢測金屬掩膜板和太陽能絲網缺陷的要求，且該檢測方法一直沒有得到有效的進展。

發明內容

基于以上，本發明提供一種自動光學檢測設備，主要用于檢測金屬掩膜板、太陽能絲網等表面具有細微缺陷的片材，本設備的檢測可以精確到10μm及以下，用于填補市面上的空白。

其具體技術方案如下：

一種自動光學檢測設備，包括承載單元、移動檢測單元和控制系統，其特征在于，所述移動檢測單元固定在所述承載單元上；

所述承載單元包括基臺、工件臺、Y軸導軌和直線電機，所述工件臺用于承載片材，所述工件臺活動的設置在所述Y軸導軌上并可在Y軸導軌進行Y軸方向的運動，從而將片材從初始位置勻速運至檢測位置；

所述移動檢測單元包括橫梁和檢測軸，所述檢測軸用來實現片材的檢測工作，所述檢測軸活動的設置在所述橫梁上，并在所述橫梁上進行X軸方向的運動；

所述控制系統用于控制整個設備的運行過程，并對所述移動檢測單元檢測片材的結果進行分析處理。

進一步，所述Y軸導軌固定在所述基臺上，所述直線電機位于所述Y軸導軌的一側也固定的設置在所述基臺上；所述工件臺通過Y軸動板活動的設置在所述Y軸導軌和所述直線電機的上方，并可隨所述Y軸動板在所述Y軸導軌上進行Y軸方向的運動，所述直線電機為所述Y軸動板的運動提供動力。

進一步，所述橫梁上設置有X軸導軌、X軸電機，所述檢測軸通過X軸動板活動的設置在所述X軸導軌上并可隨所述X軸動板在所述X軸導軌上進行X軸方向的運動，所述X軸電機為所述X軸動板的運動提供動力；所述橫梁上還設置有拖鏈，用于走線。

進一步，所述檢測軸通過Z軸基板固定在所述X軸動板上，所述檢測軸包括Z軸動板、線陣相機、面相機、線掃光源；所述Z軸動板活動的設置在所述Z軸基板上，并相對Z軸基板進行Z軸方向的運動；

所述線陣相機固定在所述Z軸動板上，所述線掃光源設置在所述線陣相機下方，所述線掃光源為所述線陣相機提供光源，所述線陣相機用來逐行檢測片材上的開口，并將檢測結果傳送至控制系統分析；

所述面相機位于所述線陣相機的一側也固定的設置在所述Z軸動板上，針對所述線陣相機掃描檢測出來的片材上的缺陷開口部位，所述面相機可對其進行精確的二次檢測。

進一步，所述基臺上還設置有鈑金支架和Y軸遮擋板，所述鈑金支架位于所述基臺的兩側面且凸出于基臺，其中一側的所述鈑金支架上方固定有無桿氣缸，所述無桿氣缸包括活塞滑塊和缸筒，另一側的所述鈑金支架上設有支撐桿，所述Y軸遮擋板一端通過連接板固定在所述無桿氣缸的活塞滑塊上，另一端通過滾輪在所述支撐桿上隨動，所述Y軸遮擋板可隨所述活塞滑塊在所述缸筒上進行Y軸方向的運動，從而實現對所述Y軸遮擋板下方的所述工件臺起遮擋保護作用。

進一步，所述基臺的兩側面固定有橫梁支架，所述橫梁通過所述橫梁支架固定在所述基臺上。