[發(fā)明專(zhuān)利]一種激光振鏡的校正方法及校正裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810034340.4
• 申請(qǐng)日: 2018-01-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108406095A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志航;江軍;高澤潤(rùn);高云峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/042
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/042
• 代理公司: 深圳市道臻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44360
• 代理人: 陳琳;陳嘉琪

本發(fā)明涉及激光振鏡的校正技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光振鏡的校正方法。包括步驟：準(zhǔn)備一高精度平臺(tái)，并在所述高精度平臺(tái)上設(shè)置有至少兩個(gè)基片，每一所述基片上平整鋪設(shè)有貼紙；設(shè)置與基片匹配的激光振鏡，并分別通過(guò)激光振鏡發(fā)射激光并入射至基片上，并在貼紙上打出多個(gè)矩陣排布的小孔；根據(jù)每一基片的矩陣排布的各小孔的預(yù)設(shè)位置，移動(dòng)高精度平臺(tái)，并通過(guò)相機(jī)獲取每一小孔的位置誤差值；根據(jù)全部小孔的位置誤差值，每一激光振鏡均同時(shí)進(jìn)行校正。本發(fā)明還涉及一種激光振鏡的校正裝置。使用高精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和高分辨率CCD，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)連續(xù)采集位置信息，一次操作可以實(shí)現(xiàn)多次重復(fù)使用，既保證了校正精度，又大大縮短了校正所需時(shí)間。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光振鏡的校正技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光振鏡的校正方法及校正裝置。

背景技術(shù)

在使用振鏡進(jìn)行精密激光加工的過(guò)程中，經(jīng)常需要對(duì)振鏡加工精度提出苛刻要求，就需要對(duì)振鏡進(jìn)行高精度的校正，但是校正精度要求越高，校正所需的點(diǎn)間距就需要越小，導(dǎo)致需要采集的位置點(diǎn)數(shù)成倍增加，同時(shí)校正次數(shù)也需要增多，就會(huì)耗費(fèi)大量的人工和時(shí)間。

特別是對(duì)于雙振鏡機(jī)臺(tái)，則需要雙倍的人工和時(shí)間，如果人工操作二次元手動(dòng)操作完成一個(gè)機(jī)臺(tái)校正，通常需要一整天的時(shí)間，這對(duì)于量產(chǎn)機(jī)臺(tái)批量調(diào)試以及項(xiàng)目需要的快速響應(yīng)是不允許的。

并且，振鏡經(jīng)常需要重新校正，因此開(kāi)發(fā)一種基于機(jī)器視覺(jué)和高精度移動(dòng)平臺(tái)的自動(dòng)校正裝置及對(duì)應(yīng)的校正方法，是本領(lǐng)域技術(shù)人員一直重點(diǎn)研究的問(wèn)題之一。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種激光振鏡的校正方法，提高校正效率，以及保證校正精度、準(zhǔn)確性。

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種激光振鏡的校正裝置，提高校正效率，以及保證校正精度、準(zhǔn)確性。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：提供一種激光振鏡的校正方法，包括步驟：

準(zhǔn)備一高精度平臺(tái)，并在所述高精度平臺(tái)上設(shè)置有至少兩個(gè)基片，每一所述基片上平整鋪設(shè)有貼紙；

設(shè)置與基片匹配的激光振鏡，并分別通過(guò)激光振鏡發(fā)射激光并入射至基片上，并在貼紙上打出多個(gè)矩陣排布的小孔；

根據(jù)每一基片的矩陣排布的各小孔的預(yù)設(shè)位置，移動(dòng)高精度平臺(tái)，并通過(guò)相機(jī)獲取每一小孔的位置誤差值；

根據(jù)全部小孔的位置誤差值，每一激光振鏡均同時(shí)進(jìn)行校正，直至全部激光振鏡的位置誤差值達(dá)到預(yù)設(shè)范圍。

其中，較佳方案是，包括步驟：

在所述高精度平臺(tái)上設(shè)置有兩個(gè)基片；

以及，設(shè)置雙激光振鏡，所述激光振鏡分別與對(duì)應(yīng)的基片匹配設(shè)置。

其中，較佳方案是，還包括步驟：

將一小孔設(shè)置為校正起點(diǎn)；

以校正起點(diǎn)作為參考點(diǎn)，按次序采集每一小孔的位置；

獲取每一小孔相對(duì)于校正起點(diǎn)的位置誤差值。

其中，較佳方案是，獲取每一小孔位置誤差值的步驟包括：

根據(jù)矩陣排布的各小孔的預(yù)設(shè)位置，移動(dòng)高精度平臺(tái)；

將所有小孔的位置誤差值統(tǒng)計(jì)，并生成校正文件。

其中，較佳方案是，還包括步驟：

所述校正文件還包括第一次通過(guò)相機(jī)獲取每一小孔位置誤差值后，獲取的配置參數(shù)；

在下一次獲取位置誤差值操作前，先根據(jù)校正文件的配置參數(shù)進(jìn)行相關(guān)參數(shù)配置，再進(jìn)行獲取位置誤差值操作。