[發明專利]自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置

在審

• 申請號: 201810032110.4
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN108254161A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 孫慈;王明佳;崔繼承;楊晉;馮樹龍;李天驕;宋楠;朱繼偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，包括：

光源系統，用于提供連續光及激光；

單色系統，用于將所述光源系統提供的連續光變為單色光出射到所述測試系統的入口處；

測試系統，所述測試系統包括第三球面鏡、待測中階梯光柵、待測平面鏡及第四平面鏡，從所述入口處進來的光依次經過所述第三球面鏡反射至所述待測中階梯光柵或待測平面鏡，反射回所述第三球面鏡，再反射至第四平面鏡，最后進入所述接收系統，所述測試系統為自準直式結構，用于在準李特羅條件下測試待測中階梯光柵的衍射效率；

接收系統，所述接收系統包括狹縫和光電倍增管，所述狹縫的作用是遮擋待測中階梯光柵非測試級次的衍射光，光電倍增管用于接收中階梯光柵測試級次的衍射光強。

2.如權利要求1所述的自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述光源系統包括：

氘燈、鎢燈及激光器，所述氘燈用于190-400nm連續光的提供，所述鎢燈用于400-1100nm連續光的提供，所述激光用于待測中階梯光柵和待測平面鏡的狀態的調整；

聚光系統，所述聚光系統用于將連續光收集并聚焦在所述單色系統的入口上；

平移臺，所述平移臺可通過移動進行氘燈、鎢燈及激光之間的切換。

3.如權利要求2所述的自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述的單色系統包括第一球面鏡、第二球面鏡、平面光柵，所述單色系統用于將所述光源系統提供的連續光依次通過所述第一球面鏡、平面光柵及第二球面鏡之后，形成單色光出射到所述測試系統的入口處。

4.如權利要求3所述的自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述待測中階梯光柵需要進行狀態調整：首先將光源設置為所述激光器，設置所述單色系統出射光波長為激光器波長，使激光入射到所述測試系統中，調整所述待測中階梯光柵的狀態使激光原路返回至所述激光器處，則該狀態下的所述待測階梯光柵為李特羅角入射，以該狀態為初始角度，轉動所述待測階梯光柵，使光經過所述第四球面鏡反射到所述接收系統處，由所述光電倍增管接收，即完成所述待測中階梯光柵狀態調整。

5.如權利要求1所述的自準直式中階梯光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，還包括待測平面鏡，所述待測平面鏡需要進行狀態調整：首先將光源設置為所述激光器，設置所述單色系統出射光波長為激光器波長，使激光入射到所述測試系統中，調整所述待測平面鏡的狀態使激光原路返回至所述激光器處，以該狀態為初始角度，轉動所述待測平面鏡，使光經過所述第四平面鏡反射到所述接收系統處，由所述光電倍增管接收，即完成所述平面鏡狀態調整。