[發明專利]用于控制傳輸穿過錐形石英拱形結構的光的光學系統

在審

• 申請號: 201810031844.0
• 申請日: 2013-03-06
• 公開（公告）號: CN108051906A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 約瑟夫·M·拉內什
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G02B17/00
• 分類號: G02B17/00;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種處理腔室，包括：

腔室主體，所述腔室主體包括拱形結構，所述拱形結構允許輻射能量傳輸穿過所述拱形結構；

基板支撐件，所述基板支撐件設置于所述腔室主體內；

多個燈，所述多個燈設置成相鄰于所述拱形結構；和

聚光組件，所述聚光組件定位于所述腔室主體內在所述多個燈與所述基板支撐件之間，其中：

所述聚光組件包括多個同心環或近似于環的多邊形近似物，所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物之間具有間隙且所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物包括允許輻射能量傳輸穿過的材料；并且

所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物在所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物的相鄰于所述間隙的側壁上包括反射涂層。

2.如權利要求1所述的處理腔室，進一步包括設置于所述多個同心環或近似于環的多邊形近似物的各端的下板和上板。

3.如權利要求2所述的處理腔室，其中所述反射涂層包括金或鋁。

4.如權利要求2所述的處理腔室，其中所述反射涂層包括銀。

5.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述同心環的至少一些同心環具有不同高度。

6.如權利要求1所述的處理腔室，其中允許輻射能量傳輸穿過的所述材料包括石英。

7.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述同心環各具有在約2.5毫米至約35毫米的范圍內的厚度。

8.如權利要求1所述的處理腔室，其中耦接到所述基板支撐件的支撐軸被設置成通過所述多個同心環的最內部環的中心。

9.如權利要求8所述的處理腔室，其中所述支撐軸由石英形成并且含有空腔于所述支撐軸中。

10.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述聚光組件進一步包括多個折射元件，所述多個折射元件設置在相鄰的同心環或近似于環的多邊形近似物之間。

11.如權利要求10所述的處理腔室，其中所述折射元件包括凸透鏡或凹透鏡。

12.如權利要求10所述的處理腔室，其中所述折射元件包括菲涅爾透鏡。

13.如權利要求1所述的處理腔室，其中所述燈定位在所述腔室主體的處理區域的外部。

14.一種處理腔室，包括：

腔室主體，所述腔室主體包括拱形結構，所述拱形結構允許輻射能量傳輸穿過所述拱形結構；

基板支撐件，所述基板支撐件設置在所述腔室主體內，所述基板支撐件具有從所述基板支撐件延伸的支撐軸；

多個燈，所述多個燈設置成相鄰于所述拱形結構；和

聚光組件，所述聚光組件位于所述腔室主體內在所述光學透明拱形結構與所述基板支撐件之間，所述聚光組件接觸所述拱形結構的上表面，所述聚光組件包括：

多個同心環或近似于環的多邊形近似物，所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物之間具有間隙，其中所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物在所述同心環或所述近似于環的多邊形近似物的相鄰于所述間隙的側壁上包括反射涂層；

上板，所述上板設置于所述多個同心環或近似于環的多邊形近似物的第一端；和

下板，所述下板設置于所述多個同心環或近似于環的多邊形近似物的第二端。

15.如權利要求14所述的處理腔室，其中所述支撐軸包括空腔于所述支撐軸中。

16.如權利要求15所述的處理腔室，其中所述聚光組件進一步包括多個折射元件，所述多個折射元件設置在相鄰的同心環或近似于環的多邊形近似物之間。