[發(fā)明專利]防濺射分子沉骨架有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810030582.6 | 申請日： | 2018-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN107976328B | 公開（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔡國飆;鄭鴻儒;劉立輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京航空航天大學(xué) |
| 主分類號： | G01M99/00 | 分類號： | G01M99/00;F28D21/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孫輝 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濺射 分子 骨架 | ||
1.一種防濺射分子沉骨架，其特征在于，包括圓筒形防濺射靶骨架主體和底端防濺射靶骨架主體；
所述圓筒形防濺射靶骨架主體包括第一管、第二管和第一冷卻管；所述第一冷卻管呈環(huán)形，且所述第一冷卻管有多個(gè)，多個(gè)所述第一冷卻管的軸線方向重合；多個(gè)所述第一冷卻管通過所述第一管和所述第二管固定連接，形成圓筒形的側(cè)部，且所述第一管、所述第二管和多個(gè)所述第一冷卻管之間均相連通；所述第一管上連接有第一進(jìn)液口，所述第二管上連接有第一出液口；
所述底端防濺射靶骨架主體包括第三管、第四管和第二冷卻管；所述第三管上連接有第二進(jìn)液口，所述第四管上連接有第二出液口；所述第二冷卻管有多個(gè)，且多個(gè)所述第二冷卻管沿垂直于所述第二冷卻管的長度方向間隔設(shè)置；多個(gè)所述第二冷卻管通過所述第三管和所述第四管固定連接，且所述第三管、所述第四管和多個(gè)所述第二冷卻管之間均相連通；
還包括連接管；所述連接管呈環(huán)形，所述第二進(jìn)液口和所述第二出液口均和所述連接管連通；
所述連接管通過所述第一管和所述第二管與所述第一冷卻管連通，且所述連接管的軸線方向與所述圓筒形的軸線方向重合，所述連接管令所述底端防濺射靶骨架主體形成所述圓筒形的底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，多個(gè)所述第一冷卻管沿所述第一管的軸線方向均勻設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述第一管和所述第二管的軸線方向平行；
所述第一管和所述第二管分別連接于所述第一冷卻管沿徑向方向的兩端，且所述第一管和所述第二管分別連接于所述連接管沿徑向方向的兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述防濺射分子沉骨架為臥式結(jié)構(gòu)，且所述第一管位于所述第二管的底端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管位于所述第四管的底端；
所述第二進(jìn)液口位于所述第三管沿延伸方向的中間位置；和/或，所述第二出液口位于所述第四管沿延伸方向的中間位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，還包括進(jìn)液總管；
所述進(jìn)液總管設(shè)置于所述第一管遠(yuǎn)離所述第二管的一側(cè)，且所述進(jìn)液總管的軸線方向與所述第一管的軸線方向平行；
沿所述圓筒形的軸線方向，所述圓筒形具有相對應(yīng)的第一端和第二端，且所述底端防濺射靶骨架主體位于所述第二端；
多個(gè)所述第一冷卻管中靠近所述第一端的第一冷卻管為第一端管，所述連接管為第二端管；
所述第一管靠近所述第一端管的位置與所述進(jìn)液總管連通，且所述第一管靠近所述第二端管的位置與所述進(jìn)液總管連通；
所述進(jìn)液總管上連接有所述第一進(jìn)液口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述進(jìn)液總管通過第一軟管連通有進(jìn)液管；
所述第二管通過第二軟管連通有出液管；
所述進(jìn)液管上設(shè)置有所述第一進(jìn)液口；所述出液管上設(shè)置有第一出液口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管的中心線和所述第四管的中心線均呈圓弧狀；
所述第三管的中心線和所述第四管的中心線共圓，且所述第三管和所述第四管對稱設(shè)置于所共圓的圓形沿徑向方向的兩端；
所述第二冷卻管沿延伸方向的兩端分別連通所述第三管和所述第四管；
所述連接管的軸線方向和所述所共圓的圓形的軸線方向重合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述第二冷卻管包括冷卻直管；
所述冷卻直管沿軸線方向的一端通過第一連接彎管連通所述第三管，另一端通過第二連接彎管連通所述第四管；
且多個(gè)所述第二冷卻管的冷卻直管沿所述第三管的延伸方向均勻設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的防濺射分子沉骨架，其特征在于，所述第三管上還設(shè)置有緩沖管；
所述緩沖管與所述第二進(jìn)液口連通。
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