[發明專利]復合金屬氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制備方法

在審

• 申請號: 201810030329.0
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN108559959A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 黃小軍;諸斌;顧宗慧;莊志杰;周鈞;莊猛
• 申請（專利權）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本發明涉及一種復合金屬氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制備方法。其中，一種復合金屬氧化物靶材材料的制備方法，包括如下步驟：取90?95.8重量份的氧化鋅、8?8.4重量份的氧化鎂、2?2.1重量份的氧化鋁、0.15?0.25重量份的分散劑、0.07?0.08重量份的粘結劑、以及4?5重量份的水混合后得到混合漿料；對所述混合漿料進行噴霧造粒。上述復合金屬氧化物靶材材料的制備方法工藝簡單、成本低廉。由此方法制得靶材材料的顆粒大小勻稱，呈球形。此外，靶材材料顆粒中各元素均勻分布于靶材材料顆粒中，進而能夠滿足靶材材料濺射的特性需求。

技術領域

本發明涉及一種合金材料領域，特別是涉及一種復合金屬氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制備方法。

背景技術

復合金屬氧化物靶材材料具有良好的光電特性，被廣泛應用于各種光電器件加工中。

目前，傳統的復合金屬氧化物靶材材料多為氧化銦錫，但因制備工藝復雜且成本高昂而制約著氧化銦錫的應用。

發明內容

基于此，有必要針對上述問題，提供一種工藝簡單、成本低廉的新型復合金屬氧化物靶材材料的制備方法。

一種復合金屬氧化物靶材材料的制備方法，包括如下步驟：

取90-95.8重量份的氧化鋅、8-8.4重量份的氧化鎂、2-2.1重量份的氧化鋁、0.15-0.25重量份的分散劑、0.07-0.08重量份的粘結劑、以及4-5重量份的水混合后得到混合漿料；

對所述混合漿料進行噴霧造粒。

上述復合金屬氧化物靶材材料的制備方法工藝簡單、成本低廉。由此方法制得靶材材料的顆粒大小勻稱，呈球形。此外，靶材材料顆粒中各元素均勻分布于靶材材料顆粒中，進而能夠滿足靶材材料濺射的特性需求。

在其中一個實施例中，所述分散劑選自月桂醚或聚乙二醇。

在其中一個實施例中，所述粘結劑選自聚丙烯酸銨或聚乙烯醇。

在其中一個實施例中，所述混合為球磨、攪拌或超聲分散。

在其中一個實施例中，在所述噴霧造粒的過程中，對所述混合漿料進行離心，離心速度為6000rpm-7000rpm。

本發明還提供了一種復合金屬氧化物靶材材料。

一種復合金屬氧化物靶材材料，采用本發明所述的復合金屬氧化物靶材材料的制備方法制得。

上述靶材材料的顆粒大小均勻，呈球形。此外，靶材材料顆粒中各元素均勻分布于靶材材料顆粒中，進而能夠滿足靶材材料濺射的特性需求。

在其中一個實施例中，所述靶材材料的顆粒粒徑為250目-400目。

本發明還提供了一種復合金屬氧化物靶材的制備方法。

一種復合金屬氧化物靶材的制備方法，包括如下步驟：

在惰性氣氛下，將本發明所述的靶材材料等離子噴涂至基體上形成復合金屬氧化物層；對所述復合金屬氧化物層進行拋光，從而得到復合金屬氧化物靶材。

上述復合金屬氧化物靶材的制備方法的優點是生產效率高，可以制作不同規格的靶材。

本發明還提供了一種復合金屬氧化物靶材。

一種復合金屬氧化物靶材采用如本申請所述的復合金屬氧化物靶材的制備方法制得。

上述復合金屬氧化物靶材中各元素分布均勻，靶材表面無裂痕和氣孔、不結瘤、無打弧現象，且含氧量低、不容易發生異常放電或粒子濺疤。