[發(fā)明專利]一種柔性氣體傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810029497.8
• 申請(qǐng)日: 2018-01-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108333227B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅堅(jiān)義;莫希偉;黃景誠(chéng);張志鵬;陳國(guó)寧;袁明華;李麗莎;唐秀鳳;黃輝;溫錦秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 五邑大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N27/12
• 分類號(hào): G01N27/12
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 廖華均

1.一種柔性氣體傳感器，其特征在于：包括氣體敏感層、導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層和柔性襯底；所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層設(shè)于柔性襯底上，所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層由具有納米結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電材料形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括連續(xù)區(qū)和間斷區(qū)；在所述連續(xù)區(qū)，導(dǎo)電材料連續(xù)接觸形成導(dǎo)通的第一導(dǎo)電通道；在所述間斷區(qū)，導(dǎo)電材料間斷設(shè)置形成未導(dǎo)通的第二導(dǎo)電通道，未導(dǎo)通的第二導(dǎo)電通道由間斷設(shè)置的導(dǎo)電材料形成，間斷的區(qū)域形成網(wǎng)絡(luò)缺口D；所述氣體敏感層覆蓋于導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層上，在導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層上復(fù)合了一層氣體敏感層后，網(wǎng)絡(luò)缺口D得到填補(bǔ)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述導(dǎo)電材料為金屬、石墨烯、碳納米管或?qū)щ娋酆衔铩?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述氣體敏感層由具有納米結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料組成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述半導(dǎo)體材料為金屬氧化物、金屬硫化物或聚合物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述柔性襯底由聚對(duì)苯二甲酸類塑料、聚酰亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯以及聚二甲基硅氧烷中的任一種材料組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述柔性氣體傳感器還包括連接電極層，所述連接電極層設(shè)于導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性氣體傳感器，其特征在于：所述柔性氣體傳感器還包括電極引線，所述電極引線與連接電極層連接。

8.權(quán)利要求1～7任一所述的柔性氣體傳感器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：在柔性襯底上制備導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層；

S2：在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層上制備氣體敏感層；

S3：在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層的兩端制備連接電極層，并在所述連接電極層上連接電極引線以與外部的輸出設(shè)備相連接，從而獲得柔性氣體傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性氣體傳感器的制備方法，其特征在于：所述步驟S1為：通過(guò)分散涂布、提拉或印刷的方法，將導(dǎo)電材料涂覆于柔性襯底上，制得導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層；所述步驟S2為：通過(guò)熱蒸發(fā)、磁控濺射或化學(xué)氣相沉積的方法，結(jié)合掩模版，將半導(dǎo)體材料沉積于所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)膜層上，制得氣體敏感層。