[發明專利]用于半導體測試的自由活塞斯特林冷卻器溫度控制系統

有效

• 申請號: 201810028522.0
• 申請日: 2018-01-12
• 公開（公告）號: CN108302836B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: T·F·萊姆克茲克;D·L·韋斯頓;C·A·洛佩斯;R·A·戴維斯
• 申請（專利權）人: 森薩塔科技公司
• 主分類號: F25B9/14
• 分類號: F25B9/14
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 曾祥生

1.一種便攜式半導體冷卻設備，其包括：

自由活塞斯特林冷卻器；

支撐構件，所述支撐構件被配置為用于將所述自由活塞斯特林冷卻器以豎直取向直接定位在被測半導體裝置上方；

熱適配器，所述熱適配器聯接到所述自由活塞斯特林冷卻器并被配置為聯接到所述被測半導體裝置；以及

可調節支撐框架，所述可調節支撐框架包括所述支撐構件，所述可調節支撐框架被配置為用于將所述自由活塞斯特林冷卻器定位和取向在靠近所述被測半導體裝置的固定位置中。

2.根據權利要求1所述的設備，其包括聯接到所述自由活塞斯特林冷卻器的便攜式系統控制單元。

3.根據權利要求2所述的設備，其包括在所述便攜式系統控制單元和所述自由活塞斯特林冷卻器之間延伸的電力線路。

4.根據權利要求3所述的設備，其包括在所述便攜式系統控制單元和所述自由活塞斯特林冷卻器之間延伸的空氣供應線路。

5.根據權利要求4所述的設備，其中所述電力線路和所述空氣供應線路由所述支撐構件支撐。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述自由活塞斯特林冷卻器豎直地懸置在所述被測半導體裝置上方。

7.根據權利要求6所述的設備，其包括：

支撐框架基部，所述支撐框架基部與所述可調節支撐框架聯接，所述支撐框架基部包括系統控制單元支撐結構；和

系統控制單元，所述系統控制單元由所述系統控制單元支撐結構支撐。

8.根據權利要求7所述的設備，其包括電力線路和空氣供應線路，所述電力線路和所述空氣供應線路從所述自由活塞斯特林冷卻器經由所述可調節支撐框架內的纜線路徑延伸到所述系統控制單元。

9.一種便攜式半導體冷卻設備，其包括：

自由活塞斯特林冷卻器；

支撐構件，所述支撐構件被配置為用于將所述自由活塞斯特林冷卻器直接定位在被測半導體裝置上方；

熱適配器，所述熱適配器聯接到所述自由活塞斯特林冷卻器并被配置為聯接到所述被測半導體裝置；

便攜式系統控制單元，所述便攜式系統控制單元經由在所述便攜式系統控制單元和所述自由活塞斯特林冷卻器之間延伸的電力線路并且經由在所述便攜式系統控制單元和所述自由活塞斯特林冷卻器之間延伸的空氣供應線路聯接到所述自由活塞斯特林冷卻器，其中所述電力線路和所述空氣供應線路由所述支撐構件支撐；

可調節支撐框架，所述可調節支撐框架包括所述支撐構件，所述可調節支撐框架被配置為用于將所述自由活塞斯特林冷卻器定位和取向在靠近所述被測半導體裝置的固定位置中；

支撐框架基部，所述支撐框架基部與所述可調節支撐框架聯接，所述支撐框架基部包括系統控制單元支撐結構；和

其中，所述便攜式系統控制單元由所述系統控制單元支撐結構支撐。

10.一種冷卻被測半導體裝置的方法，所述方法包括：

將自由活塞斯特林冷卻器定位在所述被測半導體裝置附近；

將所述自由活塞斯特林冷卻器取向在靠近所述被測半導體裝置的固定位置中；

將熱適配器定位在所述自由活塞斯特林冷卻器與所述被測半導體裝置之間，使得所述熱適配器直接抵靠所述被測半導體裝置；

將便攜式系統控制單元定位在所述自由活塞斯特林冷卻器附近；

經由電力供應線路和空氣供應線路將所述自由活塞斯特林冷卻器聯接到所述便攜式系統控制單元；以及

配置所述便攜式系統控制單元，以經由所述電力供應線路和所述空氣供應線路向所述自由活塞斯特林冷卻器提供電力和空氣來操作所述自由活塞斯特林冷卻器。

11.根據權利要求10所述的方法，其還包括配置所述便攜式系統控制單元以監測所述自由活塞斯特林冷卻器的操作狀況。