[發明專利]一種具備快速泄放信號功能的CCD

有效

• 申請號: 201810026730.7
• 申請日: 2018-01-11
• 公開（公告）號: CN108258005B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 楊洪;白雪平;姜華南
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十四研究所
• 主分類號: H01L27/148
• 分類號: H01L27/148
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務所 50215
• 代理人: 盧勝斌

本發明屬于半導體器件技術領域，主要涉及一種具備快速泄放信號功能的CCD，包括硅襯底，所述硅襯底上鄰近設置有轉移區和光敏區，其特征在于：所述轉移區范圍內的硅襯底表面上設置有多晶硅轉移柵，多晶硅轉移柵表面覆蓋有遮光層，遮光層表面淀積有回流層，所述回流層將光敏區覆蓋；所述遮光層采用難熔金屬或難熔金屬合金制作，還包括快速泄放區、以及水平信號通道區，所述快速泄放區設置于光敏區與水平信號通道區之間，本發明利用CCD設置的快速泄放區消除行信號，實現CCD具備開窗功能，減少CCD傳送及計算機需要處理的圖像信息量，提高CCD幀頻。

技術領域

本發明屬于半導體器件技術領域，具體涉及一種具備快速泄放信號功能的CCD結構。

背景技術

電荷耦合器件CCD(Charge Coupled Device)是一種微型圖像傳感器，本身兼具光電轉換功能和信號的存儲、轉移、轉換等功能，可以將空間域內分布的圖像，轉換成為按時間域離散分布的電信號。具有靈敏度高、光譜響應寬、動態范圍大、像元尺寸小、幾何精度高、成像質量好、抗震動、抗輻射等優點。

現有工業相機一般提供4：3的分辨窗口，然而在實際檢測中，常常只用到縱向分辨率的一部分，如果相機核心元器件CCD具備開窗功能，那么就可以去掉自己不感興趣的數據部分，從而大大提高傳輸和處理效率。

發明內容

基于上述背景技術中提到的問題，本發明提供了一種具備快速泄放信號功能的CCD，通過CCD設置合理的快速泄放區，以提升CCD的開窗及幀頻。

本發明采用的技術方案如下：

一種具備快速泄放信號功能的CCD，包括硅襯底，所述硅襯底上鄰近設置有轉移區和光敏區，其特征在于：所述轉移區范圍內的硅襯底表面上設置有多晶硅轉移柵，多晶硅轉移柵表面覆蓋有遮光層，遮光層表面淀積有回流層，所述回流層將光敏區覆蓋；所述遮光層采用難熔金屬或難熔金屬合金制作，還包括快速泄放區、以及水平信號通道區，所述快速泄放區設置于光敏區與水平信號通道區之間。

在上述技術方案的基礎上，本發明還可以做如下改進。

進一步：所述快速泄放區由快速泄放漏、快速泄放柵、垂直轉移信號通道A、垂直轉移信號通道B構成。

進一步：所述快速泄放柵分為A、B段實現分段控制，并以相同方式循環設置。

進一步：所述快速泄放柵與快速泄放漏上下對稱設置。

進一步：所述光敏區通過垂直轉移柵分區域為A、B兩區，并與快速泄放區分區域組合實現器件開窗功能。

本發明設置具有特殊結構的快速泄放區用于清除行信號，被清除的行信號不需要通過水平CCD轉移至源隨放大器輸出，使得可以在圖像傳感器陣列規模范圍內定義感興趣的窗口區域，僅對這些窗口內的圖像信息進行讀出，使得器件具備開窗功能，提高器件幀頻。

本發明的有益效果：利用CCD設置的快速泄放區消除行信號，實現CCD具備開窗功能，減少CCD傳送及計算機需要處理的圖像信息量，提高CCD幀頻。

附圖說明

本發明可以通過附圖給出的非限定性實施例進一步說明；

圖1為本發明一種具備快速泄放信號功能的CCD的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本領域的技術人員可以更好地理解本發明，下面結合附圖和實施例對本發明技術方案進一步說明。