[發明專利]激光制絨裝備及其方法

在審

• 申請號: 201810025680.0
• 申請日: 2018-01-11
• 公開（公告）號: CN108123011A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 馮愛新;賈天代;陳歡;劉勇
• 申請（專利權）人: 溫州大學激光與光電智能制造研究院;溫州大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.激光制絨裝備，其特征在于：包含底座(100)、硅片輸送機構(200)、硅片上下料機構(300)、激光鏡座支撐機構(400)以及激光并行加工系統(500)，硅片輸送機構(200)置于底座(100)上，硅片上下料機構(300)和激光鏡座支撐機構(400)圍繞硅片輸送機構(200)間隔分布于底座(100)上，激光鏡座支撐機構(400)上安裝激光并行加工系統(500)。

2.根據權利要求1所述的激光制絨裝備，其特征在于：所述硅片輸送機構(200)包括轉盤(201)和硅片固定裝置(203)，動力單元與轉盤(201)驅動連接，驅動轉盤(201)在底座(100)上做間歇性圓周運動，轉盤(201)上設置有定位孔(202)，硅片固定裝置(203)通過定位孔(202)安裝于轉盤(201)上，硅片固定裝置(203)上設有卡槽。

3.根據權利要求1所述的激光制絨裝備，其特征在于：所述硅片上下料機構(300)包括機構支撐架(301)、氣動伸縮桿(303)、滑塊(304)、吸盤(305)、絲杠(306)以及導軌(307)，機構支撐架(301)上安裝導軌(307)，滑塊(304)置于導軌(307)上，絲杠(306)與滑塊(304)傳動連接，驅動其沿導軌(307)直線運動，滑塊(304)上安裝氣動伸縮桿(303)，氣動伸縮桿(303)的端部安裝吸盤(305)。

4.根據權利要求1所述的激光制絨裝備，其特征在于：所述激光鏡座支撐機構(400)包含支撐板(401)和鏡座固定板(402)，鏡座固定板(402)以滑動連接方式安裝于支撐板(401)上，可在其上移動，鏡座固定板(402)上設有鏡座孔(403)以及用于激光束通過的激光入射孔(404)。

5.根據權利要求1所述的激光制絨裝備，其特征在于：所述激光并行加工系統(500)包含激光器(501)、擴束鏡(502)、分光鏡模組(503)、反光鏡模組(504)以及掃描振鏡，激光器(501)的光路輸出端布置擴束鏡(502)，擴束鏡(502)的輸出光路上布置分光鏡模組(503)，分光鏡模組(503)的輸出光路上布置反光鏡模組(504)，反光鏡模組(504)的反射光路上布置掃描振鏡。

6.根據權利要求5所述的激光制絨裝備，其特征在于：所述分光鏡模組(503)包括多組分光鏡，其數量與硅片劃分區域的個數相等。

7.權利要求1所述的裝備實現激光制絨的方法，其特征在于：由硅片上下料機構(300)將硅片輸送至硅片輸送機構(200)上，硅片輸送機構(200)由動力單元提供動力，在底座(100)上做勻速等角度的間歇運動；

激光并行加工系統(500)的激光器提供制絨所需要的激光束，發射出的激光由擴束鏡對其進行準直和擴束，改善激光的準直度，減小光束的發散角，擴展激光束的直徑，再由分光鏡模組將一束激光分成多個分支，每個分支由反光鏡模組反射入射到掃描振鏡，在掃描振鏡的掃描頭的驅動作用下，激光束發生偏移動作，激光束在硅片表面加工，硅片表面形成陷光結構，達到減少反射的目的。

8.根據權利要求7所述的激光制絨的方法，其特征在于：所述掃描振鏡與激光鏡座支撐機構(400)的鏡座固定板(402)連接，激光束通過鏡座固定板(402)上的激光入射孔(404)射入掃描振鏡。

9.根據權利要求7所述的激光制絨的方法，其特征在于：所述激光鏡座支撐機構(400)的數量根據加工硅片的面積設定，數量為N，相鄰機構之間的夾角為360/N+2度，硅片輸送機構(200)每次轉過的角度為360/N+2度。