[發明專利]一種多邊形多晶硅鑄錠裝置

在審

• 申請號: 201810020021.8
• 申請日: 2018-01-09
• 公開（公告）號: CN110016716A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 周心怡;詹國彬;黃建明
• 申請（專利權）人: 上海東洋炭素有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 李芙蓉;馮建基

1.一種多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述多邊形多晶硅鑄錠裝置包括鋼籠、隔熱籠保溫氈、加熱器、石英坩堝和石墨坩堝組件，所述石墨坩堝組件在垂直其軸線的截面上的形狀為八邊形，在所述石墨坩堝組件內排列設置石英坩堝，所述加熱器環繞所述石墨坩堝組件的周邊設置，所述隔熱籠保溫氈環繞設置在所述加熱器的外圍，所述鋼籠套置在所述隔熱籠保溫氈的外側。

2.根據權利要求1所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述鋼籠的內側的寬度為1652mm×1652mm，所述鋼籠的內側的最大對角尺寸為1786mm。

3.根據權利要求2所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述加熱器包括四個面加熱器和四個角加熱器，所述四個面加熱器兩兩相對設置，所述角加熱器設置在兩個相鄰所述面加熱器之間，并將兩個相鄰所述面加熱器電連接，形成八邊形結構的加熱器，而且，相對設置的兩個所述面加熱器之間的內側距離為1376mm，相對設置的兩個所述角加熱器之間的內側距離為1535mm。

4.根據權利要求3所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述石墨坩堝組件包括一個石墨坩堝護板、一個石墨坩堝蓋板和一個石墨坩堝底板，所述石墨坩堝護板設置在所述石英坩堝的外圍，并在垂直所述石墨坩堝組件的軸線的截面上環繞成八邊形形狀，所述石墨坩堝蓋板設置在所述石墨坩堝護板的頂部，所述石墨坩堝底板設置在所述石墨坩堝護板的底部。

5.根據權利要求4所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述石墨坩堝護板的相對面距離為1300mm，對角距離為1435mm。

6.根據權利要求1所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，在所述鋼籠的頂部和底部設置四角梁式鈑金，所述四角梁式鈑金通過螺栓和螺母固定于所述鋼籠的頂部和底部。

7.根據權利要求1所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述多邊形多晶硅鑄錠裝置還包括熱交換組件，所述熱交換組件設置在所述石墨坩堝組件的底部，用于控制所述石墨坩堝組件底部的溫度。

8.根據權利要求7所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述多邊形多晶硅鑄錠裝置還包括底保溫氈，所述底保溫氈設置在所述熱交換組件的下方。

9.根據權利要求7所述的多邊形多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述多邊形多晶硅鑄錠裝置還包括碳碳復合材料板，所述碳碳復合材料板設置在所述底保溫氈的上表面；

或者，對所述底保溫氈的表面進行硬化處理，以增強所述底保溫氈的隔離性。