[發(fā)明專利]異形顯示面板及其制作方法和顯示裝置及載臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810018325.0 | 申請日: | 2018-01-09 |
| 公開(公告)號: | CN108288634B | 公開(公告)日: | 2021-04-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 冷傳利;于泉鵬 | 申請(專利權(quán))人: | 上海天馬微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/52;H01L51/00 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 201201 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 異形 顯示 面板 及其 制作方法 顯示裝置 | ||
本申請公開一種異形顯示面板及其制作方法和顯示裝置及載臺,涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,制作方法包括:制作襯底基板,在襯底基板上形成顯示區(qū)、第一非顯示區(qū)和第二非顯示區(qū);將第二非顯示區(qū)中在第二擋墻所限定的區(qū)域內(nèi)的至少部分襯底基板進行切割挖空,形成第一開孔區(qū)域,將形成第一開孔區(qū)域的襯底基板置于載臺上;采用第一掩膜對第二非顯示區(qū)中第二擋墻所限定的區(qū)域進行覆蓋,在顯示區(qū)蒸鍍電致發(fā)光結(jié)構(gòu);取下第一掩膜,采用第二掩膜對第二非顯示區(qū)中第二擋墻所限定的區(qū)域進行覆蓋,在電致發(fā)光結(jié)構(gòu)背離襯底基板的一側(cè)進行薄膜封裝,形成薄膜封裝層,薄膜封裝層覆蓋在第一擋墻和第二擋墻之間的空間內(nèi)。如此,有利于提升異形顯示面板薄膜封裝的可靠性。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,具體地說,涉及一種異形顯示面板及其制作方法和顯示裝置及載臺。
背景技術(shù)
近年來,有機電致發(fā)光器件(OLED,Organic Light-Emitting Diode)已經(jīng)成為海內(nèi)外非常先進的顯示器產(chǎn)業(yè),被喻為下一代的“明星”顯示技術(shù),這主要是因為OLED具有自發(fā)光、廣視角、反應(yīng)時間快、發(fā)光效率高、面板厚度薄、可制作大尺寸與可彎曲式面板、制程簡單、低成本等特點。
OLED器件中一般使用活潑金屬作陰極,容易與水汽發(fā)生反應(yīng)影響電荷的注入,并且器件中的有機發(fā)光材料也會與水和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng),這些反應(yīng)都降低了OLED器件的性能和使用壽命,所以O(shè)LED器件需要使用良好的封裝技術(shù)來隔絕水汽和氧氣的侵入。薄膜封裝(Thin Film Encapsulation)是目前通常會采用的封裝方法。無機薄膜層有高致密性可以阻隔水氧,而有機膜層的高彈性可作緩沖層有效抑制無機膜層開裂,所以在柔性面板薄膜封裝結(jié)構(gòu)中通常會在基板的顯示區(qū)處的有機發(fā)光二極管上交替沉積一個或多個無機層和有機層來實現(xiàn)薄膜封裝。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,人們對顯示面板的外形有了更加多樣化的要求,因此出現(xiàn)了異形顯示面板。異形顯示面板的出現(xiàn)突破了顯示面板單一矩形結(jié)構(gòu)的局限性,不但使得顯示效果更加多樣化,而且使得顯示面板的應(yīng)用途徑也越來越廣泛。一種異形顯示面板是在常規(guī)顯示面板的基礎(chǔ)上去除一部分基板區(qū)域而形成的,通常采用直接用激光切割的方式來去除相應(yīng)的部分,對于采用薄膜封裝的顯示面板,如果直接激光切割,會使薄膜封裝層中的有機膜層斷面暴露在空氣中,從而形成水氣侵入的路徑,導(dǎo)致封裝失效,使得顯示區(qū)出現(xiàn)暗斑等不良。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,本申請所要解決的技術(shù)問題是提供一種異形顯示面板及其制作方法和顯示裝置及載臺,先對襯底基板進行切割挖空,再蒸鍍電致發(fā)光結(jié)構(gòu),最后再進行薄膜封裝,相比現(xiàn)有技術(shù)大大提高了薄膜封裝的可靠性。
為了解決上述技術(shù)問題,本申請有如下技術(shù)方案:
第一方面,本申請?zhí)峁┮环N異形顯示面板的制作方法,包括:制作襯底基板,在所述襯底基板上形成顯示區(qū)、第一非顯示區(qū)和第二非顯示區(qū),所述第一非顯示區(qū)環(huán)繞所述顯示區(qū)設(shè)置,所述顯示區(qū)環(huán)繞所述第二非顯示區(qū)設(shè)置,在所述第一非顯示區(qū)形成第一擋墻,在所述第二非顯示區(qū)形成第二擋墻,所述第一擋墻環(huán)繞所述顯示區(qū)設(shè)置,所述第二擋墻設(shè)置在所述第二非顯示區(qū)和所述顯示區(qū)的交界處;
將所述第二非顯示區(qū)中在所述第二擋墻所限定的區(qū)域內(nèi)的至少部分所述襯底基板進行切割挖空,形成第一開孔區(qū)域,將形成所述第一開孔區(qū)域的所述襯底基板置于載臺上;
采用第一掩膜對所述第二非顯示區(qū)中所述第二擋墻所限定的區(qū)域進行覆蓋,在所述顯示區(qū)蒸鍍電致發(fā)光結(jié)構(gòu);
取下所述第一掩膜,采用第二掩膜對所述第二非顯示區(qū)中所述第二擋墻所限定的區(qū)域進行覆蓋,在所述電致發(fā)光結(jié)構(gòu)背離所述襯底基板的一側(cè)進行薄膜封裝,形成薄膜封裝層,所述薄膜封裝層覆蓋在所述第一擋墻和所述第二擋墻之間的空間內(nèi)。
第二方面,本申請?zhí)峁┮环N載臺,該載臺為本申請所提供的異形顯示面板的制作方法中所使用的載臺;
所述載臺包括:磁板、支撐平臺和支撐柱,所述支撐平臺固定在所述磁板上,所述支撐平臺用于放置所述襯底基板;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





