[發明專利]一種基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法在審
| 申請號： | 201810016670.0 | 申請日： | 2018-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN108333389A | 公開（公告）日： | 2018-07-27 |
| 發明（設計）人： | 季節;索智;郭晨偉;翟鵬;許鷹;徐世法 | 申請（專利權）人： | 北京建筑大學 |
| 主分類號： | G01Q60/24 | 分類號： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京馳納智財知識產權代理事務所(普通合伙) 11367 | 代理人： | 單晶 |
| 地址： | 100044*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面粗糙度 集料 測試集 原子力顯微鏡 測試 三維坐標信息 微電子芯片 有效性驗證 獨立樣本 分形理論 光學系統 技術測試 納米科技 平均偏差 制備集料 區分性 新一代 導出 試件 算數 研究 生物工程 應用 分析 | ||
1.一種基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，通過原子力顯微鏡對集料表面粗糙度進行測試，將測試所得到的三維坐標信息導出；對集料表面粗糙度的輪廓算術平均偏差進行有效性驗證；檢驗集料表面粗糙度的區分性。
2.根據權利要求1所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：包括如下步驟：
步驟一：通過原子力顯微鏡中的輕敲模式對集料表面粗糙度進行測試；
步驟二：將測試所得到的三維坐標信息通過納米尺度分析軟件導出；
步驟三：對集料表面粗糙度的輪廓算術平均偏差Ra進行有效性驗證；
步驟四：采用數據統計軟件中的獨立樣本t檢驗驗證集料表面粗糙度的區分性。
3.根據權利要求2所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：還包括制備集料試件的步驟。
4.如權利要求3所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：制備集料試件的步驟中，使用200#砂紙消除集料切割紋理，500#和1000#砂紙將集料試件打磨平整，便于測試。
5.如權利要求2所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，原子力顯微鏡儀器采用的探針型號為TAP525A，材料為硅，頻率為525KHz。
6.如權利要求2所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，所述原子力顯微鏡儀器采用的試驗模式為輕敲模式。
7.如權利要求6所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，所述輕敲模式的掃描速度為0.5Hz。
8.如權利要求7所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，所述輕敲模式的掃描范圍為10μm*10μm。
9.如權利要求8所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，所述輕敲模式的預設壓力為0.5V。
10.如權利要求9所述的基于原子力顯微鏡測試集料表面粗糙度的方法，其特征在于：步驟一中，測試過程中，隨機選取集料中五個點進行掃描。
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