[發明專利]集成光電振蕩器

有效

• 申請號: 201810013244.1
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN108183380B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 李明;唐健;郝騰飛;祝寧華
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: H01S1/02
• 分類號: H01S1/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯寶平

1.一種集成光電振蕩器，包括：

一光電子芯片包括：

一電光轉換器；

一光延時單元，其輸入端與電光轉換器的輸出端連接；

一光耦合器，其輸入端口1與光延時單元的輸出端連接，該光耦合器的端口3為光輸出端；

一光電探測器，其輸入端與光耦合器的輸出端口2連接；

一電子芯片包括：

一第一偏置器，第一偏置器的微波輸入端與光電探測器的輸出端通過金絲鍵合連接；

一微波放大器，其輸入端與第一偏置器的輸出端連接；

一可調諧電延遲線，其輸入端與微波放大器的輸出端連接；

一微波濾波器，其輸入端與可調諧電延遲線的輸出端連接；

一第一電功分器，其輸入端口1與微波濾波器的輸出端連接，該電功分器的端口3為微波輸出端；

一微波移相器，其輸入端與第一電功分器的輸出端口2連接；

一第二偏置器，其輸入端與微波移相器的輸出端連接，第二偏置器的微波輸出端與電光轉換器的輸入端通過金絲鍵合相連；

其中光電子芯片中的電光轉換器的輸入端與電子芯片中的第二偏置器的輸出端連接；該光電子芯片中的光電探測器的輸出端與電子芯片中的第一偏置器的輸入端連接；

該電子芯片為印制電路板，與光子芯片固定與同一導熱基底上；可調諧電延遲線為片上集成的單路電衰減器和電延時器的串聯組合或雙路電衰減器和電延時器的串聯組合，通過控制電延時器可實現微波頻率的調諧，通過控制電衰減器可調諧諧振環路當中的損耗，降低后續器件非線性效應。

2.根據權利要求1所述的集成光電振蕩器，其中電光轉換器為直調激光器或為單頻激光器加電光調制器。

3.根據權利要求1所述的集成光電振蕩器，其中光延時單元為單路級聯螺旋狀的銦磷基光波導或雙路級聯螺旋狀的銦磷基光波導。

4.根據權利要求1所述的集成光電振蕩器，其中微波濾波器為平頂濾波器，用于濾出單一諧振的微波頻率。

5.根據權利要求1所述的集成光電振蕩器，其中光電探測器為銦磷基的高速率，高響應度光電探測器。

6.根據權利要求1所述的集成光電振蕩器，其中光電子芯片與電子芯片通過導熱粘結的方式固定于導熱基板上。