[發明專利]基板加電裝置及其設備

有效

• 申請號: 201810012297.1
• 申請日: 2018-01-05
• 公開（公告）號: CN108008580B
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 宋立
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1337
• 分類號: G02F1/1337
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 亓贏

1.一種基板加電裝置，其特征在于，包括：

多個移動式加電治具，包括：

一個加電單元，包括有一基座，所述基座底部突出一探針安裝座，所述探針安裝座設置有多個加電探針，該些加電探針用以電性接觸一基板，所述基座的底部設置有一連動結合部；以及

一個傳動單元，包括有一連動結構、一軌道結構以及一驅動組件，所述驅動組件可輸出動力驅動所述連動結構，所述連動結構可于所述軌道結構上做相對運動，所述連動結構可結合于所述連動結合部，并透過所述驅動組件的動力輸出驅動所述加電單元的移動，藉此使該些加電探針移動至一特定位置對所述基板施加一電壓；

其中，該些加電單元的移動行程平均占用所述基板加電裝置的寬度,所述基座具有一支撐底座、一夾持氣缸以及一上蓋，所述支撐底座是自所述探針安裝座遠離該些加電探針的一側延伸的立面，所述支撐底座的頂部延伸所述上蓋，所述上蓋與所述探針安裝座平行相對，所述上蓋與所述探針安裝座間設置有所述夾持氣缸，用以驅動所述上蓋的垂直位移以改變所述上蓋與所述探針安裝座間的相對距離以夾持所述基板；

其中，所述多個移動式加電治具為第一移動式加電治具與第二移動式加電治具，所述第一移動式加電治具的驅動組件與所述第二移動式加電治具的驅動組件并列設置于所述基板加電裝置的一側，其中，所述第一移動式加電治具的驅動組件靠近探針安裝座的一側，所述第二移動式加電治具的驅動組件遠離探針安裝座的一側；通過一參數設定自動調整所述移動式加電治具的連動，改變第一移動式加電治具與第二移動式加電治具間的相對距離。

2.如權利要求1所述的基板加電裝置，其特征在于，所述連動結構包括一皮帶以及一滑塊，所述滑塊以其頂部結合所述連動結合部，并以其底部裝設于所述軌道結構做相對運動。

3.如權利要求1所述的基板加電裝置，其特征在于，所述軌道結構為一線性導軌。

4.如權利要求1所述的基板加電裝置，其特征在于，所述驅動組件為一馬達。

5.如權利要求1所述的基板加電裝置，其特征在于，所述第一移動式加電治具的連動結構寬度為所述基板加電裝置寬度的1/2，所述第二移動式加電治具的連動結構寬度為所述基板加電裝置的寬度。

6.一種基板加電裝置，其特征在于，包括：

兩個移動式加電治具，各該移動式加電治具包括：

一個加電單元，包括有一基座，所述基座底部突出一探針安裝座，所述探針安裝座設置有多個加電探針，所述基座的底部設置有一連動結合部；以及

一個傳動單元，包括有一連動結構、一線性導軌以及一馬達，所述連動結構包括有一皮帶以及一滑塊，所述馬達可輸出動力驅動所述皮帶帶動所述滑塊，所述滑塊底部可于所述線性導軌上做相對運動，所述滑塊頂部可結合于所述連動結合部，并透過所述馬達的動力輸出驅動所述加電單元的移動；

其中，各該移動式加電治具的馬達并列設置于同一側，各該加電單元的連動行程為所述基板加電裝置寬度的一半，并通過一參數設定自動調整各該加電單元間的相對距離。

7.一種基板加電設備，其特征在于，包括：

一承載平臺，用以承載一基板；

至少一對如權利要求1-6中之一所述的基板加電裝置，分別對稱設置于所述基板的兩側。