[發(fā)明專利]顯示裝置、陣列基板、柵極驅(qū)動(dòng)電路、晶體管及制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810004554.7
• 申請(qǐng)日: 2018-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108231756A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮艷榮;方?jīng)_;馮耀耀;張晗;張世舉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/01
• 分類號(hào): H01L27/01;G09F9/33
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

本公開(kāi)提供一種顯示裝置、陣列基板、柵極驅(qū)動(dòng)電路、晶體管及制造方法。涉及現(xiàn)實(shí)技術(shù)領(lǐng)域。本公開(kāi)的晶體管用于柵極驅(qū)動(dòng)電路，該柵極驅(qū)動(dòng)電路設(shè)于陣列基板的非顯示區(qū)。該晶體管包括柵極層、有源層和源漏層。柵極層包括沿第一方向分布且互相連接的多個(gè)柵極線。有源層設(shè)于柵極層上。源漏極層設(shè)于有源層上，且包括沿第二方向間隔分布的多個(gè)源極線和多個(gè)漏極線，多個(gè)源極線互相連接，多個(gè)漏極線互相連接，第二方向與第一方向不同。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種顯示裝置、陣列基板、柵極驅(qū)動(dòng)電路、晶體管及制造方法。

背景技術(shù)

陣列基板行驅(qū)動(dòng)(Gate Driver on Array，即GOA)是一種用于陣列基板的驅(qū)動(dòng)技術(shù)。可將柵極驅(qū)動(dòng)電路直接制作在陣列基板的非顯示區(qū)，從而免于外接?xùn)艠O驅(qū)動(dòng)電路，具有低成本、低功耗、窄邊框等優(yōu)點(diǎn)。其中，薄膜晶體管是柵極驅(qū)動(dòng)電路的重要元件。如圖1所示，現(xiàn)有的柵極驅(qū)動(dòng)電路中的薄膜晶體管一般包括自下而上設(shè)置的柵極層1a、有源層2a和源漏極層，其中，柵極層1a為一連續(xù)且完整的平面。源漏極層包括多個(gè)源極線3a和多個(gè)漏極線4a，源極線3a和漏極線4a可作為驅(qū)動(dòng)陣列基板的數(shù)據(jù)線。

在陣列基板的生產(chǎn)中，柵極層1a和源漏極層之間可能會(huì)存在金屬顆粒物等雜質(zhì)，導(dǎo)致柵極層1a和源漏極層在雜質(zhì)所處位置出現(xiàn)短路，影響正常驅(qū)動(dòng)，造成顯示不良。若通過(guò)激光對(duì)雜質(zhì)所在區(qū)域進(jìn)行切割，可能會(huì)導(dǎo)致源極線3a或漏極線4a與柵極層1a熔接，導(dǎo)致新的短路。因而，現(xiàn)有技術(shù)中，在維修雜質(zhì)引起的短路時(shí)，通常要將出現(xiàn)雜質(zhì)的源極線3a或漏極線4a整個(gè)切割掉，以消除短路。但是，這種方式對(duì)薄膜晶體管造成的損傷較大，影響驅(qū)動(dòng)信號(hào)的正常輸出。

需要說(shuō)明的是，在上述背景技術(shù)部分公開(kāi)的信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本公開(kāi)的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本公開(kāi)的目的在于提供一種顯示裝置、陣列基板、柵極驅(qū)動(dòng)電路及薄膜晶體管，降低雜質(zhì)造成短路的發(fā)生率，并可減小維修時(shí)的切割區(qū)域，降低對(duì)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的影響。

根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)方面，提供一種晶體管，用于柵極驅(qū)動(dòng)電路，所述柵極驅(qū)動(dòng)電路設(shè)于陣列基板的非顯示區(qū)，所述晶體管包括：

柵極層，包括沿第一方向分布且互相連接的多個(gè)柵極線；

有源層，設(shè)于所述柵極層上；

源漏極層，設(shè)于所述有源層上，且包括沿第二方向間隔分布的多個(gè)源極線和多個(gè)漏極線，多個(gè)所述源極線互相連接，多個(gè)所述漏極線互相連接，所述第二方向與所述第一方向不同。

在本公開(kāi)的一種示例性實(shí)施例中，所述柵極層還包括邊框，多個(gè)所述柵極線均設(shè)于所述邊框內(nèi)，且均與所述邊框連接。

在本公開(kāi)的一種示例性實(shí)施例中，所述有源層包括多個(gè)有源條，多個(gè)所述有源條一一對(duì)應(yīng)的設(shè)于多個(gè)所述柵極線上。

在本公開(kāi)的一種示例性實(shí)施例中，所述有源層的材料為銦鎵鋅氧化物。

在本公開(kāi)的一種示例性實(shí)施例中，相鄰兩所述源極線間僅設(shè)有一個(gè)所述漏極線，相鄰兩所述漏極線間僅設(shè)有一個(gè)所述源極線。

在本公開(kāi)的一種示例性實(shí)施例中，所述第一方向與所述第二方向垂直。

根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)方面，提供一種晶體管制造方法，包括：

形成柵極層，所述柵極層包括沿第一方向分布且互相連接的多個(gè)柵極線；

在所述柵極層上形成有源層；

在所述有源層上形成源漏極層，所述源漏極層包括沿第二方向間隔分布的多個(gè)源極線和多個(gè)漏極線，多個(gè)所述源極線互相連接，多個(gè)所述漏極線互相連接，所述第二方向與所述第一方向不同。

根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)方面，提供一種柵極驅(qū)動(dòng)電路，包括上述任意一項(xiàng)所述的晶體管。