[發(fā)明專利]一種改進(jìn)的氣相沉積爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810004026.1
• 申請日: 2018-01-03
• 公開（公告）號: CN107829078B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歷建政
• 申請（專利權(quán)）人: 煙臺銀河新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/46;C23C16/44
• 代理公司: 煙臺雙聯(lián)專利事務(wù)所(普通合伙) 37225
• 代理人: 申國棟

1.一種改進(jìn)的氣相沉積爐，包括帶有爐底（4）的爐體（1），爐體（1）內(nèi)安裝有專用內(nèi)筒（2），專用內(nèi)筒（2）連接有進(jìn)氣裝置（6），其特征在于：所述的專用內(nèi)筒（2）包括上端部的內(nèi)筒上圈（21）和下端部的內(nèi)筒下圈（22），內(nèi)筒上圈（21）和內(nèi)筒下圈（22）之間是內(nèi)側(cè)面為光滑面的筒壁；所述筒壁包括縱橫交錯(cuò)的筋板（23），相鄰筋板之間為壁板（24）；壁板的厚度為筋板厚度的30%～40%；所述氣相沉積爐還包括底部加熱裝置（5），底部加熱裝置（5）包括爐底（4）上開設(shè)的并且上端開口的凹槽，在該凹槽內(nèi)安裝有石墨加熱器（55）；所述凹槽的上開口端安裝有用于從上方覆蓋石墨加熱器（55）的碳碳復(fù)合材料板（53），該碳碳復(fù)合材料板（53）上開設(shè)有若干個(gè)均布的散熱通孔（531）；所述的進(jìn)氣裝置（6）包括由粗管（62）和設(shè)置在粗管（62）內(nèi)并與粗管（62）走向一致的細(xì)管（61）構(gòu)成的進(jìn)氣管，該進(jìn)氣管具有兩個(gè)氣道，其中一個(gè)是細(xì)管（61）形成的內(nèi)氣道，另一個(gè)是細(xì)管（61）和粗管（62）之間的環(huán)形外氣道；內(nèi)氣道的出氣端高于環(huán)形外氣道的出氣端；

所述氣相沉積爐還包括循環(huán)冷卻裝置（7），循環(huán)冷卻裝置（7）包括設(shè)置在爐體（1）外側(cè)的管式冷卻器（77），管式冷卻器（77）的前端連接氣相沉積爐的下排氣孔（71），后端連接有風(fēng)機(jī)（74），風(fēng)機(jī)（74）的出氣端連接專用內(nèi)筒（2）的上端口（72）；

所述氣相沉積爐還包括尾氣除焦裝置（3），該尾氣除焦裝置（3）包括內(nèi)端連接專用內(nèi)筒（2）的排氣主管道（31）和末端用于連接真空發(fā)生裝置、前端與排氣主管道（31）末端相連接的排氣副管道（32），排氣副管道（32）靠近排氣主管道（31）末端的一段與排氣主管道（31）走向相垂直；排氣主管道（31）與排氣副管道（32）的連接處通過油管連接有接油箱（34）；在排氣主管道（31）中設(shè)有位于排氣主管道（31）中心位置的電阻加熱管（35），電阻加熱管（35）外套有絕緣保護(hù)套（39）；電阻加熱管（35）的根部與排氣副管道（32）的管壁相連接；氣相沉積爐尾氣除焦裝置還包括安裝在排氣主管道（31）中、繞電阻加熱管（35）螺旋設(shè)置且以電阻加熱管（35）為旋轉(zhuǎn)中心的螺旋刮板（36），該螺旋刮板（36）的前端靠近排氣主管道（31）的內(nèi)端，螺旋刮板（36）的后端連接有從動齒輪（38）；從動齒輪（38）通過軸承安裝在電阻加熱管（35）上；與從動齒輪（38）相嚙合的主動齒輪（37）與安裝在排氣副管道（32）外側(cè)的電機(jī)（33）傳動連接；所述齒輪和軸承均位于排氣主管道（31）與排氣副管道（32）的連接處內(nèi)腔中。

2.如權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的氣相沉積爐，其特征在于：所述的石墨加熱器（55）包括環(huán)形石墨盤；所述環(huán)形石墨盤上開設(shè)有若干個(gè)徑向分隔槽（551）將石墨盤分隔為從內(nèi)環(huán)邊沿到外環(huán)邊沿再到內(nèi)環(huán)邊沿的循環(huán)回折狀。

3.如權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的氣相沉積爐，其特征在于：風(fēng)機(jī)（74）通過氣閥連接有氮?dú)夤蓿?5）。

4.如權(quán)利要求1或2或3所述的改進(jìn)的氣相沉積爐，其特征在于：排氣副管道（32）中安裝有納米級過濾網(wǎng)（30），該納米級過濾網(wǎng)（30）位于排氣主管道（31）與排氣副管道（32）之間并且網(wǎng)面與螺旋刮板（36）的外沿相切。

5.如權(quán)利要求1或2或3所述的改進(jìn)的氣相沉積爐，其特征在于：電機(jī)（33）的輸出軸外端位于排氣主管道（31）與排氣副管道（32）的連接處內(nèi)腔中，主動齒輪（37）安裝在電機(jī)（33）的輸出軸外端。

6.如權(quán)利要求1或2或3所述的改進(jìn)的氣相沉積爐，其特征在于：排氣主管道（31）與排氣副管道（32）的連接處的下側(cè)通過油管連接位于該連接處下方的接油箱（34）。