[發明專利]一種穩定裝置及其工作方法、機械臂、顯示面板生產設備

有效

• 申請號: 201810003061.1
• 申請日: 2018-01-02
• 公開（公告）號: CN107942553B
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 余世榮;孟慶勇;吳春暉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;B25J19/00;B25J9/00
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 王剛

本發明公開了一種穩定裝置及其工作方法、機械臂、顯示面板生產設備；所述穩定裝置包括：位移傳感器、控制器，以及設置在機械臂的末端的第一噴嘴、第二噴嘴；所述第一噴嘴位于所述機械臂的上表面，且其噴氣方向與所述機械臂的上表面垂直；所述第二噴嘴位于所述機械臂的下表面，且其噴氣方向與所述機械臂的下表面垂直；所述位移傳感器用于檢測所述機械臂的豎直方向位移，并觸發所述控制器根據位移方向控制所述第一噴嘴或所述第二噴嘴噴氣。本發明能夠有效減少機械臂在搬運過程中的震顫，大大降低震顫對基板造成的不良影響，減少震顫到穩定的停滯時間，有效提高基板良率，降低生產節拍，提高稼動率與產能，提升產品品質。

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，特別是指一種穩定裝置及其工作方法、機械臂、顯示面板生產設備。

背景技術

隨著TFT-LCD顯示技術不斷進步，為了實現更為經濟的切割方式，基板的尺寸也越來越大。在顯示面板生成設備的生產過程中，不可避免的要采用機械臂對尺寸較大的基板進行搬運；在搬運時，機械臂的移動所造成的顫動對承載的基板造成很多不良影響，包括：基板高頻顫動容易造成應力損傷，導致模組面板成品強度下降，甚至可能在生產過程中基板直接碎裂，嚴重影響良率和產品品質；特別的，在基板涂布完光阻膠后需要由機械臂搬運至下一設備進行諸如真空干燥等工序時，機械臂的震顫使得光阻膠流動至基板凹陷處，造成基板表面光阻膠厚度不均一，對產品品質產生重大影響；此外，機械臂震顫上下浮動過大，而基板位于設備間隙較小，需等待機械臂恢復至較小振幅甚至靜止時才能進行基板取放動作，這一等待過程需花費3～5s時間，嚴重影響生產節拍和生產稼動率。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提出一種穩定裝置及其工作方法、機械臂、顯示面板生產設備，能夠有效減少機械臂在位移過程中的震顫，大大降低震顫對基板造成的不良影響，減少震顫到穩定的停滯時間，有效提高基板良率，降低生產節拍，提高稼動率與產能，提升產品品質。

第一方面，本發明提供了一種穩定裝置，包括：位移傳感器、控制器，以及設置在機械臂的末端的第一噴嘴、第二噴嘴；所述第一噴嘴位于所述機械臂的上表面，且其噴氣方向與所述機械臂的上表面垂直；所述第二噴嘴位于所述機械臂的下表面，且其噴氣方向與所述機械臂的下表面垂直；所述位移傳感器用于檢測所述機械臂的豎直方向位移，并觸發所述控制器根據位移方向控制所述第一噴嘴或所述第二噴嘴噴氣。

在一些實施方式中，所述第一噴嘴和所述第二噴嘴均包括開口大小可調的嘴部；所述控制器還用于根據位移大小控制所述第一噴嘴或所述第二噴嘴的嘴部開口大小。

在一些實施方式中，所述第一噴嘴和所述第二噴嘴的嘴部開口大小正比于所述機械臂的豎直方向位移大小。

在一些實施方式中，所述控制器根據位移大小控制所述第一噴嘴或所述第二噴嘴的嘴部開口大小時，基于如下公式：

S＝(C_m+C_v)*Min-Max scaling(a)

其中，S為嘴部開口面積；a為機械臂的位移大小；Min-Max scaling為線性歸一化函數，用于對所述位移大小進行歸一化處理；C_m為機械臂質量常數；C_v為機械臂搬運速度常數。

在一些實施方式中，所述機械臂的末端還設置有用于對基板進行阻擋限位的防護頭。

在一些實施方式中，所述防護頭的材質為橡膠。

在一些實施方式中，所述機械臂內部設置有與所述第一噴嘴和所述第二噴嘴連接的氣體輸送管路。

第二方面，本發明提供了一種如上任意一項所述的穩定裝置的工作方法，包括：

通過所述位移傳感器檢測所述機械臂的豎直方向位移；

通過所述控制器根據位移方向控制所述第一噴嘴或所述第二噴嘴噴氣。