[發明專利]加工系統、形狀測定探針、形狀算出裝置及存儲介質

有效

• 申請號: 201780098150.2
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN111629862B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發明（設計）人: 山田智明;西川靜雄;宮本敏;森下淳一
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康;DMG森精機株式會社
• 主分類號: B23Q17/20
• 分類號: B23Q17/20;G01B21/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種加工系統，包括：機床，包含輸出測定信息的測定探針，所述測定信息用以算出加工對象物的形狀；

控制部，生成與測定所述加工對象物時的所述測定探針的位置相關的位置信息，并輸出所生成的所述位置信息與在生成所述位置信息的時間點產生且表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號；

獲取部，獲取所輸出的所述位置信息與所述生成時期信號；

獲取間隔算出部，算出表示與所述獲取部所獲取的多個所述生成時期信號相關的獲取時期的間隔的統計值，所述統計值是指定所述獲取時期的間隔的值；

推定部，基于所述獲取間隔算出部所算出的所述統計值以及生成所述位置信息的時期與所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期的時間差中所包含的系統誤差，來推定生成所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

2.根據權利要求1所述的加工系統，其中，

所述控制部根據比生成所述位置信息的第一周期長的第二周期來輸出所述生成時期信號，

所述獲取間隔算出部算出如下值作為所述統計值：表示根據所述第二周期而輸出的所述生成時期信號的獲取間隔的值，

所述推定部通過基于所述統計值來推定所述第一周期，從而推定生成所述位置信息的時期。

3.一種形狀算出系統，包括：

測定探針，能夠安裝于機床，且生成用以算出所述機床的加工對象物的形狀的測定信息；

獲取部，獲取所述機床所生成的位置信息與在生成所述位置信息的時間點產生且表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號作為與測定所述加工對象物時的所述測定探針的位置相關的信息；

獲取間隔算出部，算出表示與所述獲取部所獲取的多個所述生成時期信號相關的獲取時期的間隔的統計值，所述統計值是指定所述獲取時期的間隔的值；

推定部，基于所述獲取間隔算出部所算出的所述統計值以及生成所述位置信息的時期與所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期的時間差中所包含的系統誤差，來推定生成所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

4.一種形狀測定探針，能夠安裝于機床，且所述形狀測定探針包括：

測定探針，通過對所述機床的加工對象物進行拍攝來生成所述加工對象物的測定信息；

獲取部，獲取表示生成所述機床所生成的位置信息的時期且在生成所述位置信息的時間點產生的生成時期信號作為與測定所述加工對象物時的所述形狀測定探針的位置相關的信息；

獲取間隔算出部，算出表示與所述獲取部所獲取的多個所述生成時期信號相關的獲取時期的間隔的統計值，所述統計值是指定所述獲取時期的間隔的值；

推定部，基于所述獲取間隔算出部所算出的所述統計值以及生成所述位置信息的時期與所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期的時間差中所包含的系統誤差，來推定生成所述位置信息的時期；以及

輸出部，輸出所述測定信息、所述位置信息、與所述推定部所推定的時期相關的信息。

5.一種形狀算出裝置，包括：

測定信息獲取部，獲取能夠安裝于機床的測定探針所生成的用以算出所述機床的加工對象物的形狀的測定信息；

位置信息獲取部，獲取所述機床所生成的位置信息作為與測定所述加工對象物時的所述測定探針的位置相關的信息；

信號獲取部，自所述機床獲取在生成所述位置信息的時間點產生且表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號；

獲取間隔算出部，算出表示與所述信號獲取部所獲取的多個所述生成時期信號相關的獲取時期的間隔的統計值，所述統計值是指定所述獲取時期的間隔的值；

推定部，基于所述獲取間隔算出部所算出的所述統計值以及生成所述位置信息的時期與所述信號獲取部獲取所述生成時期信號的時期的時間差中所包含的系統誤差，來推定生成所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。