[發(fā)明專(zhuān)利]蒸鍍掩模、蒸鍍方法以及有機(jī)EL顯示裝置的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780097952.1
• 申請(qǐng)日: 2017-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111511957A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岸本克彥;崎尾進(jìn)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 堺顯示器制品株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 王娟

1.一種蒸鍍掩模，其特征在于，具有：

掩模主體，所述掩模主體上形成有開(kāi)口圖案；

框架，所述框架與所述掩模主體的周緣部的至少一部分接合，并將所述掩模主體保持在一定的狀態(tài)；

所述框架通過(guò)碳纖維強(qiáng)化塑料形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述碳纖維強(qiáng)化塑料為將碳化硅作為強(qiáng)化纖維的碳化硅纖維強(qiáng)化塑料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述框架被形成為夾心結(jié)構(gòu)體，所述夾心結(jié)構(gòu)體通過(guò)在內(nèi)包有空隙的柱狀的芯部的至少一部分的相對(duì)面上粘貼由碳纖維強(qiáng)化塑料或者金屬板形成的面板而構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述芯部的空隙被形成為廣義的蜂窩結(jié)構(gòu)體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述掩模主體為混合型掩模，所述混合型掩模由形成有所述開(kāi)口圖案的樹(shù)脂膜、和以不阻塞所述樹(shù)脂膜的所述開(kāi)口圖案的方式形成有開(kāi)口的金屬支撐層相互粘貼而成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述掩模主體為由形成有所述開(kāi)口圖案的金屬薄板構(gòu)成的金屬掩模。

7.根據(jù)權(quán)利要求3至6的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述框架為邊框狀的矩形形狀，在接合了所述掩摸主體的所述框架的邊上，所述空隙被形成為從被所述框架包圍的內(nèi)部朝向所述框架的外部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

所述掩模主體的周緣部相對(duì)所述框架的接合通過(guò)將所述掩模主體的周緣部的一部分進(jìn)行彎折，從而將所述掩模主體的周緣部接合在與所述框架的內(nèi)側(cè)相反的外周側(cè)壁。

9.根據(jù)權(quán)利要求3至8的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

在內(nèi)包有所述空隙的所述框架的整個(gè)外周壁上粘貼有由磁性金屬板形成的面板。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

被所述面板包圍的所述空隙被減壓。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

被所述面板包圍的所述空隙的內(nèi)部充填有惰性氣體。

12.一種蒸鍍方法，其特征在于，包括如下工序：

將被蒸鍍基板和權(quán)利要求1至11的任意一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模重疊設(shè)置的工序，以及

通過(guò)與所述蒸鍍掩模間隔設(shè)置的蒸鍍?cè)吹恼翦儾牧系娘w散，在所述被蒸鍍基板上堆積所述蒸鍍材料的工序。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的蒸鍍方法，其特征在于，

所述蒸鍍掩模的框架為邊框狀的矩形形狀，配置所述被蒸鍍基板及所述蒸鍍掩模，使得所述空隙從被所述框架包圍的內(nèi)部朝向所述框架的外部而形成的框架的邊處于上下位置。

14.一種有機(jī)EL顯示裝置的制造方法，其特征在于，包括：

在支撐基板上至少形成TFT和第一電極，通過(guò)使用權(quán)利要求12或13所記載的蒸鍍方法在所述支撐基板上蒸鍍有機(jī)材料，形成有機(jī)層的層疊膜，在所述層疊膜上形成第二電極的工序。