[發明專利]加工系統、形狀測定探針、形狀算出裝置及存儲介質

有效

• 申請號: 201780097866.0
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN111511501B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 山田智明
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: B23Q17/20
• 分類號: B23Q17/20;G01B21/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

1.一種加工系統，包括：機床，包含輸出測定信息的測定部，所述測定信息用以算出加工對象物的形狀；

控制部，生成與測定所述加工對象物時的所述測定部的位置相關的位置信息，并輸出所生成的所述位置信息與表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號；

獲取部，獲取所輸出的所述位置信息與所述生成時期信號；

推定部，基于所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期，來推定生成所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

2.根據權利要求1所述的加工系統，其中，

所述推定部基于所述獲取部獲取所述生成時期信號的周期，來推定生成所述位置信息的時期。

3.根據權利要求2所述的加工系統，其中，

所述推定部基于所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期與所述周期的差，來推定生成所述位置信息的時期。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的加工系統，其中，

所述推定部基于生成所述位置信息的時期與所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期的時間差中所包含的系統誤差，來推定生成所述位置信息的時期。

5.一種形狀測定系統，包括：

測定部，能夠安裝于機床，且生成用以算出所述機床的加工對象物的形狀的測定信息；

獲取部，獲取所述機床所生成的位置信息與表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號作為與測定所述加工對象物時的所述測定部的位置相關的信息；

推定部，基于所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期，來推定生成所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

6.一種形狀測定探針，能夠安裝于機床，且所述形狀測定探針包括：

拍攝部，通過對所述機床的加工對象物進行拍攝來生成所述加工對象物的測定信息；

獲取部，獲取表示生成所述機床所生成的位置信息的時期的生成時期信號作為與測定所述加工對象物時的所述形狀測定探針的位置相關的信息；

推定部，基于所述獲取部獲取所述生成時期信號的時期，來推定生成所述位置信息的時期；以及

輸出部，對形狀算出裝置輸出所述測定信息和與所述推定部所推定的時期相關的信息，所述形狀算出裝置基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

7.一種形狀算出裝置，包括：

測定信息獲取部，獲取能夠安裝于機床的測定部所生成的用以算出所述機床的加工對象物的形狀的測定信息；

位置信息獲取部，獲取所述機床所生成的位置信息作為與測定所述加工對象物時的所述測定部的位置相關的信息；

信號獲取部，獲取表示生成所述位置信息的時期的生成時期信號；

推定部，基于所述信號獲取部獲取所述生成時期信號的時期，來推定生成所述位置信息獲取部所獲取的所述位置信息的時期；以及

形狀算出部，基于所述測定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的時期，來算出所述加工對象物的形狀。

8.一種形狀測定方法，包括：

獲取能夠安裝于機床的測定部所生成的用以算出所述機床的加工對象物的形狀的測定信息；

獲取所述機床所生成的位置信息作為與測定所述加工對象物時的所述測定部的位置相關的信息；

獲取所述機床所生成的生成時期信號作為表示生成所述位置信息的時期的信號；

基于獲取所述生成時期信號的時期，來推定由所述機床生成所述位置信息的時期；以及

基于所述測定信息、所述位置信息及所推定的所述時期，來算出所述加工對象物的形狀。