[發明專利]光刻膠剝離劑組合物

在審

• 申請號: 201780097438.8
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN111448520A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 王騰芳;王勇軍
• 申請（專利權）人: 漢高股份有限及兩合公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;C11D7/32
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 祁麗

1.光刻膠剝離劑組合物，包含：

(a)至少一種膽堿化合物；

(b)至少一種極性非質子溶劑；以及

(c)水；

其中按所述組合物的總重量計，所述膽堿化合物的量為2.5-50重量％。

2.根據權利要求1所述的光刻膠剝離劑組合物，其中所述膽堿化合物選自氫氧化膽堿、膽堿碳酸氫鹽、氯化膽堿、酒石酸氫膽堿、檸檬酸二氫膽堿、硫酸膽堿及其任意組合。

3.根據權利要求1或2所述的光刻膠剝離劑組合物，其中所述膽堿化合物具有連接到中心氮的一個羥乙基。

4.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中按所述組合物的總重量計，所述膽堿化合物的量為5-50重量％，優選為7-30重量％，更優選為9-18重量％。

5.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中按所述組合物的總重量計，所述水的量大于或等于11重量％，優選大于或等于13重量％，并且更優選為13重量％至87.5重量％。

6.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中按所述組合物的總重量計，所述極性非質子溶劑的量為10-90重量％，優選為15-85重量％，并且更優選為15-75重量％。

7.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中所述極性非質子溶劑選自N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、二甲基甲酰胺、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、碳酸丙烯酯及其任何組合。

8.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其還包含至少一種堿性物質。

9.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中所述堿性物質為弱堿性物質，優選地，當溶于25℃的水中時，其pKa值為2至12，并且更優選pKa值為7至11。

10.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中所述堿性物質選自碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸鈣、碳酸鎂、氫氧化鈣、氫氧化鎂、氨基吡啶、丁胺、氨基磺胺、二乙醇胺、二甲胺、二甲基咪唑、麻黃堿、乙醇胺、乙基嗎啉、甘氨酰甘氨酸、羥基吡咯啉、哌啶、丙胺、甲胺、甲基咪唑、三乙胺、三乙醇胺、三甲胺、三(羥甲基)氨基甲醇、2-氨基-2-乙基-1,3-丙二醇、2-氨基-2-甲基-1,3-丙二醇、2-氨基-2-甲基-1-丙醇及其任意組合。

11.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其中按所述組合物的總重量計，所述堿性物質的量為5-50重量％，優選為5-30重量％，并且更優選為10-20重量％。

12.根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物，其包含：

(a)2.5-50重量％的至少一種膽堿化合物；

(b)10-90重量％的至少一種極性非質子溶劑；

(c)11-87.5重量％的水；以及

(d)0-50重量％的至少一種堿性物質；

其中所有組分的重量百分比合計為100重量％。

13.制備根據前述權利要求中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物的方法，包括將所述光刻膠剝離劑組合物的各組分混合的步驟。

14.一種基板，其使用根據權利要求1至12中任一項所述的光刻膠剝離劑組合物去除覆蓋在所述基板上的光刻膠材料而獲得。