[發明專利]探針板、半導體測定裝置及半導體測定系統有效
| 申請號： | 201780096721.9 | 申請日： | 2017-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN111344577B | 公開（公告）日： | 2022-12-23 |
| 發明（設計）人： | 松林弘人;松本貴之;中村智昭 | 申請（專利權）人： | 三菱電機株式會社 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;張天舒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 半導體 測定 裝置 系統 | ||
1.一種探針板，其具有邊緣傳感器，該邊緣傳感器具有第1針和第2針，
在所述第1針沒有與晶片接觸時所述第1針與所述第2針接觸，在所述第1針已與所述晶片接觸時所述第1針沒有與所述第2針接觸，
該探針板還具有與所述第1針和所述第2針的接觸、非接觸無關地，在所述第1針與所述第2針之間始終連接的與所述第1針和所述第2針不同的可變電阻。
2.根據權利要求1所述的探針板，其特征在于，
能夠與半導體測定裝置連接，在將所述邊緣傳感器的電阻值設為R、將閾值設為Rth的情況下，如果R＜Rth，則該半導體測定裝置判定為所述第1針沒有與所述晶片接觸，如果R≥Rth，則該半導體測定裝置判定為所述第1針已與所述晶片接觸，
在將所述可變電阻的電阻值設為R1、將所述第1針已與所述第2針接觸并且拆除了所述可變電阻的狀態下的所述邊緣傳感器的電阻值設為R2的情況下，就R1而言，如果R2≤Rth，則滿足R1≥Rth的條件，如果R2＞Rth，則滿足Rth≤R1＜Rth*R2/(R2-Rth)的條件。
4.根據權利要求3所述的半導體測定裝置，其特征在于，
在將所述可變電阻的電阻值設為R1、將所述第1針已與所述第2針接觸并且拆除了所述可變電阻的狀態下的所述邊緣傳感器的電阻值設為R2的情況下，能夠以如果R2≤Rth則滿足R1≥Rth的條件的方式設定R1，能夠以如果R2＞Rth則滿足Rth≤R1＜Rth*R2/(R2-Rth)的條件的方式設定R1。
5.根據權利要求4所述的半導體測定裝置，其特征在于，
在所述第1針沒有與所述晶片接觸時測定R，
根據R2＝R1*R/(R1-R)而計算R2，
能夠重新設定R1。
6.一種半導體測定系統，其具有：
權利要求1所述的探針板；以及
半導體測定裝置，其與所述探針板連接，在將所述邊緣傳感器的電阻值設為R、將閾值設為Rth的情況下，如果R＜Rth，則判定為所述第1針沒有與所述晶片接觸，如果R≥Rth，則判定為所述第1針已與所述晶片接觸。
7.一種半導體測定系統，其具有：
權利要求1所述的探針板；以及
權利要求3至5中任一項所述的半導體測定裝置，其與所述探針板連接。
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