[發(fā)明專利]光波導(dǎo)調(diào)制器及光收發(fā)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780096388.1
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN111279253B
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王志仁;鄧舒鵬;劉磊
• 申請（專利權(quán)）人: 華為技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/035
• 分類號(hào): G02F1/035
• 代理公司: 深圳市深佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44285
• 代理人: 夏歡

一種光波導(dǎo)調(diào)制器，包括：基板(10)；位于基板(10)第一表面的光波導(dǎo)(20)，光波導(dǎo)(20)包括光波導(dǎo)本體(21)及位于光波導(dǎo)本體(21)側(cè)壁上并向兩側(cè)延伸的多個(gè)凸起單元(22)；位于光波導(dǎo)(20)背離基板(10)一側(cè)的石墨烯層(30)，石墨烯層(30)至少覆蓋光波導(dǎo)(20)；位于光波導(dǎo)本體(21)側(cè)壁上的多個(gè)凸起單元(22)沿第一預(yù)設(shè)方向(X)排布，第一預(yù)設(shè)方向(X)平行于光波導(dǎo)(20)中光信號(hào)的傳輸方向。光波導(dǎo)調(diào)制器可降低光信號(hào)在光波導(dǎo)(20)中的傳輸速度，在經(jīng)過相同長度的光波導(dǎo)(20)時(shí)，提高光波導(dǎo)(20)中的光信號(hào)與石墨烯層(30)的交互作用時(shí)間，提高石墨烯層(30)的光吸收效率，在石墨烯層(30)對光波導(dǎo)(20)中的光信號(hào)的吸收量相同的情況下，縮短光波導(dǎo)調(diào)制器的長度，降低光波導(dǎo)調(diào)制器的RC時(shí)間常數(shù)，增大光波導(dǎo)調(diào)制器的電光帶寬。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及光信號(hào)調(diào)制技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光波導(dǎo)調(diào)制器及光收發(fā)裝置。

背景技術(shù)

由于石墨烯具有優(yōu)秀的光電特性，近年來，以石墨烯為基礎(chǔ)的光波導(dǎo)調(diào)制器在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用越來越廣泛。需要說明的是，雖然石墨烯具有高理論電帶寬，但由于石墨烯光波導(dǎo)調(diào)制器的RC時(shí)間常數(shù)較高，導(dǎo)致石墨烯電吸收調(diào)制器的電光帶寬難以提升，限制了石墨烯光波導(dǎo)調(diào)制器的發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容

第一方面，本申請實(shí)施例提供了一種光波導(dǎo)調(diào)制器，包括：

基板；

位于所述基板第一表面的光波導(dǎo)，所述光波導(dǎo)包括光波導(dǎo)本體以及位于所述光波導(dǎo)本體側(cè)壁上并向兩側(cè)延伸的多個(gè)凸起單元；

位于所述光波導(dǎo)背離所述基板一側(cè)的石墨烯層，所述石墨烯層至少覆蓋所述光波導(dǎo)；

其中，位于所述光波導(dǎo)本體側(cè)壁上的多個(gè)所述凸起單元沿第一預(yù)設(shè)方向排布，所述第一預(yù)設(shè)方向平行于所述光波導(dǎo)中光信號(hào)的傳輸方向。

本申請實(shí)施例所提供的光波導(dǎo)調(diào)制器，通過在所述光波導(dǎo)本體的側(cè)壁上形成多個(gè)凸起單元，來降低光信號(hào)在所述光波導(dǎo)中的傳輸速度，可以在經(jīng)過相同長度的光波導(dǎo)時(shí)，提高所述光波導(dǎo)中的光信號(hào)與所述石墨烯層的交互作用時(shí)間，增大所述石墨烯層對所述光波導(dǎo)中光信號(hào)的吸收量，提高所述石墨烯層的光吸收效率，從而在所述石墨烯層對所述光波導(dǎo)中的光信號(hào)的吸收量相同的情況下，縮短光波導(dǎo)調(diào)制器的長度，降低所述光波導(dǎo)調(diào)制器的時(shí)間常數(shù)，而所述光波導(dǎo)調(diào)制器的時(shí)間常數(shù)與所述光波導(dǎo)調(diào)制器的電光帶寬成反比，因此，本申請實(shí)施例所提供的光波導(dǎo)調(diào)制器可以增大所述光波導(dǎo)調(diào)制器的電光帶寬。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述凸起單元包括位于所述光波導(dǎo)本體第一側(cè)壁上的第一凸起結(jié)構(gòu)和位于所述光波導(dǎo)本體第二側(cè)壁上的第二凸起結(jié)構(gòu)，其中，所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁相對，所述第一凸起結(jié)構(gòu)和所述第二凸起結(jié)構(gòu)相對；所述光波導(dǎo)本體包括對應(yīng)所述凸起單元所在區(qū)域的第一本體以及位于相鄰所述凸起單元之間的第二本體。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，不同所述凸起單元在第二預(yù)設(shè)方向上的寬度相同，任意兩個(gè)相鄰所述凸起單元之間的第二本體在所述第二預(yù)設(shè)方向上的寬度相同；其中，所述第二預(yù)設(shè)方向平行于所述第一表面，且垂直于所述第一預(yù)設(shè)方向。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，各所述第一本體在所述第二預(yù)設(shè)方向上的寬度相同。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，各所述第一本體沿所述第一預(yù)設(shè)方向的長度相同，各所述第二本體沿所述第一預(yù)設(shè)方向的長度相同。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，在垂直于所述基板第一表面方向上，各所述凸起單元的厚度相同，以使得所述光波導(dǎo)背離所述基板一側(cè)的表面為平整表面，從而便于所述石墨烯層的形成。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述石墨烯層僅覆蓋所述光波導(dǎo)。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，所述石墨烯層同時(shí)覆蓋所述光波導(dǎo)和所述基板的第一表面。

在一種實(shí)現(xiàn)方式中，還包括：