[發明專利]被配置為確定沉積布置的狀態的設備、用于制造太陽能電池的系統、以及用于確定沉積布置的狀態的方法

在審

• 申請號: 201780096358.0
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN111295767A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 吉奧萊·達萊內斯;阿伯特·艾米利奧·拉福;亞歷山德羅·帕特索蒂
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

提供了一種被配置為確定沉積布置(300)的狀態的設備(100)。所述設備(100)包括：檢查裝置(110)，所述檢查裝置被配置為檢測沉積在基板(10)和基板支撐件(20)中的至少一個上的材料的至少一部分(30)；以及處理器(120)，所述處理器被配置為基于所述材料的由所述檢查裝置(110)檢測到的所述部分(30)來確定沉積布置(300)的狀態。

技術領域

本公開的實施方式涉及一種被配置為確定沉積布置的狀態的設備、一種用于制造太陽能電池的系統、以及一種用于確定沉積布置的狀態的方法。本公開的實施方式特別地涉及用于預測沉積布置(諸如絲網印刷工藝中使用的絲網)的故障的設備、系統和方法。

背景技術

太陽能電池是直接地將太陽光轉換成電力的光伏(PV)器件。在這個領域內，已知的是，使用沉積技術(諸如絲網印刷)在基板(諸如晶體硅基部)上生產太陽能電池，從而在太陽能電池的一個或多個表面上實現導電線路圖案結構。如果例如絲網被撕裂或破裂，則糊劑可能污染生產工具和基板(電池)中的至少一個。工具必須被清潔，從而導致工具的停機時間增加。此外，當絲網被撕裂或破裂時，就會浪費大量糊劑。

鑒于以上內容，克服本領域的問題中的至少一些的新的設備、系統和方法是有益的。本公開特別地旨在提供一種可減少太陽能電池生產工具的停機時間和/或節省沉積材料(諸如糊劑)的設備、系統和方法。

發明內容

鑒于以上內容，提供了一種被配置為確定沉積布置的狀態的設備、一種用于制造太陽能電池的系統、以及一種用于確定沉積布置的狀態的方法。本公開的另外的方面、益處和特征將從權利要求書、說明書和附圖顯而易見。

根據本公開的一方面，提供了一種用于確定沉積布置的狀態的設備。所述設備包括：檢查裝置，所述檢查裝置被配置為檢測沉積在基板和基板支撐件中的至少一個上的材料的至少一部分；以及處理器，所述處理器被配置為基于所述材料的由所述檢查裝置檢測到的所述部分來確定所述沉積布置的狀態。

根據本公開的另一方面，提供了一種用于確定沉積布置的狀態的設備。所述設備包括：檢查裝置，所述檢查裝置被配置為檢測基板和基板支撐件中的至少一個上的污漬；以及處理器，所述處理器被配置為如果污漬由所述檢查裝置檢測到，則預測所述沉積布置的故障。

根據本公開的另一方面，提供了一種用于制造太陽能電池的系統。所述系統包括：沉積布置，所述沉積布置被配置為在基板上沉積材料；以及根據本公開的被配置為確定沉積布置的狀態的設備。

根據本公開的又一方面，提供了一種用于確定沉積布置的狀態的方法。所述方法包括：檢測沉積在基板和基板支撐件中的至少一個上的材料的至少一部分；以及基于所述材料的由所述檢查裝置檢測到的所述部分來確定沉積布置的狀態。

根據本公開的另一方面，提供了一種計算機可讀存儲介質，所述計算機可讀存儲介質包括用于實現用于確定沉積布置的狀態的方法的計算機可執行指令。

實施方式還針對用于實施所公開的方法的設備并包括用于執行每個所描述的方法方面的設備部分。這些方法方面可以借助硬件部件、由適當的軟件編程的計算機、這兩者的任何組合或以任何其他方式執行。此外，根據本公開的實施方式還針對用于操作所描述的設備的方法。用于操作所描述的設備的方法包括用于實施設備的每一功能的方法方面。

附圖說明

為了能夠詳細地理解本公開的上述特征的方式，可以參考實施方式來提供以上簡要地概述的本公開的更特定的描述。附圖涉及本公開的實施方式并描述如下：

圖1示出了根據本文所描述的實施方式的被配置為確定沉積布置的狀態的設備的示意圖；

圖2示出了根據本文所描述的實施方式的具有線路圖案的太陽能電池；

圖3A示出了根據本文所述實施方式的絲網印刷設備的示意圖；