[發明專利]加工裝置及移動體的制造方法

有效

• 申請號: 201780096207.5
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN111246966B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 白石雅之;川辺喜雄;立崎陽介;柴崎祐一
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡林嶺

1.一種加工裝置，包括：

光照射裝置，對物體的表面的光照射區域照射多個加工光；及

第一變更裝置，將在所述物體的表面的所述光照射區域內的一部分上的來自所述光照射裝置的所述多個加工光的各加工光的強度分布從第一強度分布變更為不同于所述第一強度分布的第二強度分布；且

對所述物體的所述表面照射所述多個加工光中的一個加工光而在所述物體形成第一槽，對所述物體的所述表面照射不同于所述一個加工光的加工光而在所述物體的不同于所述第一槽的位置形成第二槽，

通過利用所述第一變更裝置而變更所述強度分布，根據在所述物體的所述表面的位置變更所述第一槽和所述第二槽的尺寸。

2.根據權利要求1所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置在所述物體的表面照射有所述多個加工光時變更所述強度分布。

3.根據權利要求2所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置變更通過來自所述光照射裝置的所述多個加工光而形成于所述物體的表面的照射區域的形狀。

4.一種加工裝置，包括：

光照射裝置，對物體的表面照射多個加工光；及

第一變更裝置，將通過來自所述光照射裝置的所述多個加工光的各加工光而形成于所述物體的表面的照射區域的形狀從第一形狀變更為不同于所述第一形狀的第二形狀；且

對所述物體的所述表面照射所述多個加工光中的一個加工光而在所述物體形成第一槽，對所述物體的所述表面照射不同于所述一個加工光的加工光而在所述物體的不同于所述第一槽的位置形成第二槽，

通過利用所述第一變更裝置而變更所述照射區域的形狀，根據在所述物體的所述表面的位置變更所述第一槽和所述第二槽的尺寸。

5.根據權利要求4所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置在所述物體的表面照射有所述多個加工光時變更所述形狀。

6.根據權利要求1或4所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置變更通過來自所述光照射裝置的所述多個加工光而形成于所述物體的表面的照射區域的大小。

7.一種加工裝置，包括：

光照射裝置，對物體的表面照射多個加工光；及

第一變更裝置，將通過來自所述光照射裝置的所述多個加工光的各加工光而形成于所述物體的表面的照射區域的大小從第一大小變更為不同于所述第一大小的第二大小；且

對所述物體的所述表面照射所述多個加工光中的一個加工光而在所述物體形成第一槽，對所述物體的所述表面照射不同于所述一個加工光的加工光而在所述物體的不同于所述第一槽的位置形成第二槽，

通過利用所述第一變更裝置而變更所述照射區域的大小，根據在所述物體的所述表面的位置變更所述第一槽和所述第二槽的尺寸。

8.根據權利要求7所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置在所述物體的表面照射有所述多個加工光時變更所述大小。

9.根據權利要求1、4或7所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置變更來自所述光照射裝置的所述多個加工光的強度。

10.一種加工裝置，包括：

光照射裝置，對物體的表面照射多個加工光；及

第一變更裝置，將來自所述光照射裝置的所述多個加工光的各加工光的強度從第一強度變更為不同于所述第一強度的第二強度；且

對所述物體的所述表面照射所述多個加工光中的一個加工光而在所述物體形成第一槽，對所述物體的所述表面照射不同于所述一個加工光的加工光而在所述物體的不同于所述第一槽的位置形成第二槽，

通過利用所述第一變更裝置而變更所述強度，根據在所述物體的所述表面的位置變更所述第一槽和所述第二槽的尺寸。

11.根據權利要求10所述的加工裝置，其中

所述第一變更裝置在所述物體的表面照射有所述多個加工光時變更所述強度。