[發明專利]包括超導材料的凸塊下金屬化結構

在審

• 申請號: 201780095345.1
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN111164749A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: D·艾布拉哈姆;J·M·科特;E·萊萬多夫斯基
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司
• 主分類號: H01L23/485
• 分類號: H01L23/485;H01L27/18
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 酆迅;姚杰

1.一種結構，包括：

凸塊下金屬化(UBM)結構，所述UBM結構包括第一區域和第二區域，所述第一區域和所述第二區域被橫向地定位在所述UBM結構中，其中，所述第一區包括超導材料；

與所述UBM結構相對的襯底；以及

超導焊料材料，所述超導焊料材料將所述第一區域結合到所述襯底并且將所述第二區域結合到所述襯底。

2.根據權利要求1所述的結構，其中，所述UBM結構被布置成使得所述第一區域與所述第二區域橫向相鄰，使得所述超導焊料材料能夠接觸所述第一區域和所述第二區域兩者。

3.根據權利要求1所述的結構，其中，所述UBM結構被布置成具有包含所述第一區的一個或多個第一位置，并且具有包含所述第二區的一個或多個第二位置。

4.根據權利要求3所述的結構，其中，所述一個或多個第一位置不同于所述一個或多個第二位置。

5.根據權利要求1所述的結構，其中，所述第二區域包括非超導材料。

6.根據權利要求1所述的結構，其中，所述襯底包括被連接到所述超導焊料材料的超導電路，使得所述第一區域被電連接到所述超導電路。

7.根據權利要求1所述的結構，其中，超導結在所述超導焊料材料和所述第一區域之間被形成。

8.一種結構，包括：

第一凸塊下金屬化(UBM)結構，所述第一UBM結構包括第一區域和第二區域，所述第一區域和所述第二區域被橫向地定位在所述第一UBM結構中，所述第一UBM結構被連接到第一襯底；

第二UBM結構，所述第二UBM結構包括另一第一區域和另一第二區域，所述另一第一區域和所述另一第二區域被橫向地定位在所述第二UBM結構中，所述第二UBM結構連接至第二襯底；以及

超導焊料材料，所述超導焊料材料將所述第一UBM結構的所述第一區域和所述第二區域結合至所述第二UBM結構的所述另一第一區域和所述另一第二區域，其中，所述第一區域和所述另一第一區域包括超導材料。

9.根據權利要求8所述的結構，其中，所述第一UBM結構被布置成使得所述第一區域與所述第二區域橫向相鄰，使得所述超導焊料材料能夠接觸所述第一區域和所述第二區域兩者；以及

其中，所述第二UBM結構被布置成使得所述另一第一區域與所述另一第二區域橫向相鄰，使得所述超導焊料材料能夠接觸所述另一第一區域和所述另一第二區域兩者。

10.根據權利要求8所述的結構，其中，所述第一UBM結構被布置成具有包含所述第一區域的一個或多個第一位置，并且具有包含所述第二區域的一個或多個第二位置；以及

其中所述第二UBM結構被布置成具有包含所述另一第一區域的一個或多個第二位置并具有包含所述另一第二區域的一個或多個第二位置。

11.根據權利要求8所述的結構，其中，所述第二區域和所述另一第二區域包括非超導材料。

12.根據權利要求8所述的結構，其中，所述第一襯底包括被電連接到所述超導焊料材料的第一超導電路；

其中，所述第二襯底包括被電連接到所述超導焊料材料的第二超導電路，使得所述第一超導電路和所述第二超導電路經由所述第一區域、所述另一第一區域和所述超導焊料材料被電連接。

13.根據權利要求8所述的結構，其中，超導結在所述超導焊料材料與所述第一區域之間以及在所述超導焊料材料與所述另一第一區域之間被形成。

14.一種系統，包括：

包括如前述權利要求中任一項所述的結構的器件；以及

冷卻系統，所述冷卻系統被配置成將溫度降低至與所述設備相關聯的超導溫度。